超精密三維表面輪廓光學(xué)系列測(cè)量?jī)x采用相干相關(guān)技術(shù)進(jìn)行非接觸式表面測(cè)量。此類(lèi)儀器能在僅10秒內(nèi)完成測(cè)量數(shù)據(jù)點(diǎn)超過(guò)百萬(wàn)的表面測(cè)量，分辨率高達(dá)0.01 nm (0.1 ?)。

Talysurf CCI 6000 干涉儀是一種*的高分辨率的計(jì)量?jī)x器。像素達(dá)100萬(wàn)的傳感器作為系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。該系統(tǒng)可提供*測(cè)量重復(fù)性和的表面細(xì)節(jié)。

該系統(tǒng)專(zhuān)為需要進(jìn)行超高分辨率測(cè)量的（如亞微米級(jí)與亞納米級(jí)的z軸分辨率）各種不同類(lèi)型的表面而設(shè)計(jì)的。它非常適合應(yīng)用于許多不同的領(lǐng)域包括：半導(dǎo)體制造業(yè)和微機(jī)電系統(tǒng)，以及*的科學(xué)研究與光學(xué)業(yè)。