凱戈納斯儀器商貿(mào)（上海）有限公司
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產(chǎn)品型號SAL-1000
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地
聯(lián)系方式：李剛查看聯(lián)系方式
更新時間：2022-04-01 14:06:47瀏覽次數(shù)：229次
聯(lián)系我時，請告知來自 儀表網(wǎng)SAL1000系列桌面型ALD原子層沉積...
SAL-1000 ALD原子層沉積系統(tǒng)
SAL-1000Series是由日本AGUS生產(chǎn)的桌面型ALD原子層沉積設(shè)備，可搭載2路前驅(qū)體。適用于4英寸（φ 100mm）基片的沉積，并可搭載粉末樣品架和手套箱。
SAL-1000Sseries原子層沉積設(shè)備具備如下特點：
1. 良好的成膜性能，膜厚均勻性高，≤3%
·對于內(nèi)孔、凹槽與高深寬比結(jié)構(gòu)具有良好的沉積均勻性； · 膜厚可精準(zhǔn)控制達一個原子層； · 大面積制程可達到無孔洞薄膜（Pin Hole free） · *的重復(fù)性及穩(wěn)定性 · 材料缺陷密度低 · 可成長非晶型或結(jié)晶薄膜（選擇溫度） |  |
2. 優(yōu)異的真空性能，真空度≤5Pa
3. 觸控操作，簡單易用；
·觸摸屏使用戶可以輕松設(shè)置配方或沉積過程，并檢查每個驅(qū)動系統(tǒng)的運動。
| ·可進行自動沉積，并在沉積完成后自動完成N2排放。 |
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| ·手套箱的真空排氣和惰性氣體的引入也可自動完成。 |
4. 配件豐富，可滿足多種試驗需求：
基底旋轉(zhuǎn)架、粉末樣品配件、手套箱、臭氧發(fā)生器、尾氣處理設(shè)備、200℃前驅(qū)體的加熱器，干式真空泵等；
粉末沉積配件：傾斜框架可調(diào)整的角度為0 ~ 45°，更便于粉末成膜。單次可對5cm3的粉體進行表面沉積；
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