MF4300氣體質量流量計能直接測量氣體質量流

量，適用于各類清潔、干燥氣體。MF4300工作壓力提高到

1.0MPa， 測 量 范 圍 涵 蓋 0~10SLPM到 0~200SLPM。

2 MF4300提供多種信號輸出，通過RS485或I C數字通訊接口

可實現遠程數據采集與設置。MF4300具備LED數字顯示和

按鍵功能，允許用戶在現場調整或查詢流量計的參數。

MF4300系列氣體質量流量計是基于美國微機電系統有

限公司自主研制MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣

體傳熱傳質的依存關系，在其上、下游產生溫度變化而得

到氣體的質量流量。

MF4300氣體質量流量計的MEMS芯片上集成了微熱源與溫度傳感

器。當沒有氣體流過時，MEMS芯片上的微熱源周邊形成穩

定的溫度場分布。當有氣體流過時，微熱源周邊會形成新

的溫度場分布。MEMS芯片上的溫度傳感器將測量到具體的

溫度變化并轉換為電信號，經放大、調理和線性化處理

后，通過LED顯示或模擬、數字信號輸出。由于不同種類的

氣體對微熱源周邊形成穩定的溫度場分布所產生的溫度變

化不同，所以能測量氣體的質量流量。