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B-A 型真空計BAG402（中到超高真空真空計）
INFICON 單 Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG402 涵蓋從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）的廣泛測量范圍。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動真空計套裝，在低成本、可重復的工藝過程中進行基礎壓力測量。dute的雙絲極結構提供更優異的精度、長期穩定性和長使用壽命。
優勢
_ 測量范圍從 5 x 10-10毫巴至 6.7 x 10-2 毫巴 (3.75 x 10-10乇至 5 x 10-2乇)
_ 的再現性在過程壓強從 10-8 … 10-2毫巴的范圍內為 5%
_ 過壓檢測保護燈絲防止過早燒毀
_ 兩根涂敷氧化釔的長壽命銥燈絲
_ 可提供以太網現場總線接口
_ 發射電流選擇降低控制的復雜性
_ 易于更換傳感元件和在機校準數據保證高的再現性
_ RoHS 兼容性
應用
_ 在半導體過程和傳送室中的壓強測量
_ 工業鍍膜
_ 在低至超高真空范圍內的一般真空測量和控制
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