英福康復(fù)合真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)好處

從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍

在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性

皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù) Bayard-Alpert 系統(tǒng)在高壓操作下絲極過早燒毀和過度污染

長使用壽命氧化釔銥絲

備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

英福康復(fù)合真空計(jì)的典型應(yīng)用

對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量

工業(yè)鍍膜

低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制