位置指示器
接線壓力范圍

Soldered joints
125VAC/1A
30VDC/0.5A

真空法蘭

KF16

KF25

KF40

驅動器

opening : pneumatic
closing : by pressure spring

壓縮空氣供給
管路大小
壓力范圍
汽缸排氣量

?6 mm
4~6 Kg/cm2(overpressure)

4 cm3

11 cm3

35 cm3

閥門行程

6 mm

8 mm

13 mm

電導率
角閥

5 l/s

14 l/s

45 l/s

開關頻率
開啟時間
關閉時間

10/min
100ms
100ms

10/min
120ms
160ms

8/min
260ms
540ms

使用壽命*

10 million

真空漏率

1x10-9 mbar l/s

閥門內部大壓力值

5 bar(absolute)

閥門內部最小操作壓力

1x10-8 mbar

閥門內部大操作壓力

2 bar

壓差范圍 △p
關閉方向
開啟方向

5 bar
2 bar

溫度
閥門環境
烘烤
本體
高純鋁
驅動器
電磁閥

0°C…+50°C


80°C
50°C
50°C

安裝方向
流動方向

Any
Any

材質
本體
高純鋁
波紋管/閥門閥板
彈簧
密封圈
外蓋
可視性位置指示器
氣缸

A6061-T6
316Ti S.S.
Spring steel
Viton
ABS

A5083

重量
All in one
Aluminum

Pneumatic N/C
Aluminum

0.54 kg

0.36kg

0.73kg

0.56 kg

1.34kg

1.2kg