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1、真空的定義真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)2、真空度處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。3...
前級泵抽速選擇排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值,選用的前級泵必須能將主泵的zui大氣體量排走,根據(jù)管路中,各截面...
擴(kuò)散泵抽速計算公式:S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)式中:S-被試泵的抽氣速率(l/s)n-滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)t-油柱上升n格所需要的時間(秒)P-在泵口附近測得的壓強(qiáng)(托)K-滴管...
真空系統(tǒng)常用名稱(1)主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。(2)前級泵:用于維持某一真空泵前級壓強(qiáng)低于其臨界前級壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵...
INFICON電容薄膜規(guī)的特點:1、以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成2、在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測量3、快速的預(yù)熱和恢復(fù)時間,提高生產(chǎn)率4、的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性5、由于電...
加熱型薄膜規(guī)壓力使膜片變形,變形量與壓力大小成比例關(guān)系,通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度1、零飄極小0.1%FS/年(干凈真空環(huán)境)2、更高的精度3、環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流...
電容薄膜規(guī)要求高的應(yīng)用條件下,而快速的壓強(qiáng)測量1、用于刻蝕,CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造,如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多,刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多,抗污染性能比較好...
INFICON皮拉尼真空計應(yīng)用行業(yè)1.各種高真空泵的前級壓力測量,如光伏,鍍膜,等離子行業(yè)2.各種中低真空測量,如照明,冶金3.真空連鎖控制,高真空計的點火開關(guān)控制,如PEG1004.PSG050可*...
皮拉尼真空計具體型號lPSG050/051lPSG100-SPSG101-SlPSG500/500-SPSG502l皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計PCG400PCG410PCG5501.有皮拉尼規(guī)與特制的陶...
INFICON石英監(jiān)控器晶體用于真空應(yīng)用的石英監(jiān)控器晶體石英晶體是QCM系統(tǒng)中的速率和厚度傳感元件。這些晶體用于所有標(biāo)準(zhǔn)INFICON監(jiān)控器或控制器以及INFICON(或其他制造商的)單、雙或多晶體傳...
美國MKS流量計INSTRUMENTS成立于1961年,作為半導(dǎo)體零部件的供應(yīng)商,在氣體、真空儀器及制程控制應(yīng)用等方面有技術(shù)獨到之處,美*機(jī)儀器MKSInstruments產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心...
INFICON真空開關(guān)專為準(zhǔn)確可靠地進(jìn)行壓力檢測而設(shè)計。這些堅固耐用的電子開關(guān)可用于各種真空應(yīng)用,包括壓力互鎖。開關(guān)有兩種型號:絕壓開關(guān)(參考真空)和壓差開關(guān)(參考環(huán)境)。益處全不銹鋼防腐蝕設(shè)計設(shè)計穩(wěn)...
INFICONSKYCDG045D壓力計是實現(xiàn)高總壓測量與控制的理想之選。CDG045D真空計溫度控制在45°C,具有的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性。在50mTorr至1000Torr滿刻度范圍內(nèi)均可使用,帶...
瑞士inficon電容式膜片真空計的優(yōu)點與應(yīng)用擁有成本更低,預(yù)熱速度快50%,節(jié)能,低功耗易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標(biāo)配兩個設(shè)定點輕松一鍵調(diào)零或遠(yuǎn)程信號調(diào)零指令,可調(diào)零點偏移診斷端口用于快速維...
真空測量范圍從0.1毫乇到2巴INFICON陶瓷電容式膜片真空計(CDG)專為要求極其嚴(yán)格和準(zhǔn)確度要求*(0.15%)的真空行業(yè)設(shè)計。防腐蝕超純氧化鋁材料傳感器可確保該真空計*的性能、長期的穩(wěn)定性、高...
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