MKS主要提供有: 氣體壓力及流量測量和控制, 射頻 /直流 /微波電源發生器及測量工具, 氟離子 /臭氧反應氣體發生器, 真空產品, 氣體分析儀, 靜電控制及信息和控制技術等產品。
MKS質量流量計特點:
1)用于大流量應用的從20SLM到200SLM的全量程
2)平衡力閥門設計將由于管路壓力的波動所導致的振動降到zui小
3)小于30分鐘的快速啟動時間將寶貴的生產停頓時間降到zui小
4)小于2秒的響應時間可以快速達到所需要的設定值
5)可接受外部壓力信號的輸入(0-10VDC)來進行壓力控制
6)可提供用于大流量監控的流量計(型號558MFM)
7)1年質量保證確保了產品質量和客戶的滿意度
8)符合歐洲CE認證標志