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安捷倫真空泵分子泵組: TPS-移動型渦輪分子泵組 TPS-flexy 渦輪分子泵組 TPS-mini渦輪分子泵組 TPS緊湊型渦輪分子泵組 IDP-3

真空規(guī)管及顯示儀表: 瑞士INFICON真空計 Granville-Phillips真空規(guī)管及顯示器 INFICON真空規(guī)管及顯示器英國EDWARDS真空規(guī)管及顯示儀表

石英晶體膜厚控制儀: INFICON晶控探頭維修配件 MAXTEK INFICON

HTC真空閥: APC真空鐘擺閥 HTC真空蝶閥

INFICON檢漏儀: 超聲波檢漏儀易燃性氣體檢漏儀一氧化碳檢測儀冷媒檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀

Htc 真空管件: Htc 金屬真空波紋（軟）管 Htc 彎頭管件 Htc 三通管件 Htc 四通/十字通管件 Htc 真空轉(zhuǎn)接管件

真空開關(guān)及真空饋入件: 瑞士INFICON公司

HTC 真空轉(zhuǎn)接頭: HTC 管狀直通型轉(zhuǎn)接頭 HTC 圓錐形大小頭轉(zhuǎn)接頭 HTC KF轉(zhuǎn)其他形式轉(zhuǎn)接頭

石英晶振片: 美國MAXTEK晶振片美國INFICON晶振片

HTC真空角閥: HTC真空角閥-手動 HTC真空角閥-氣動 HTC Z型閥-手動 HTC Z型閥-氣動 HTC Y型閥-手動 HTC Y型閥-氣動 HTC 全金屬閥門 HTC 不銹鋼波紋管密封閥門 HTC 球閥

四極質(zhì)譜分析儀: 瑞士INFICON四極質(zhì)譜

真空泵: 艾克森真空泵干泵泵組復(fù)合渦輪分子泵渦輪分子泵隔膜真空泵旋片泵

HTC真空閘閥: HTC手動－高真空閘閥 HTC手動-超高真空閘閥 HTC氣動-高真空閘閥 HTC氣動-超高真空閘閥

質(zhì)量流量計: Vogtlin流量計 MKS流量計

HTC 真空法蘭: HTC KF法蘭系列 HTC ISO法蘭系列 HTC CF法蘭系列

HTC 中心圈: HTC KF中心圈系列 HTC ISO中心圈系列

HTC訂制真空腔體: 學(xué)術(shù)與研究單位訂制腔體批次真空訂制腔體連續(xù)式真空訂制腔體客制化模組

波前傳感器

科學(xué)相機（EMCCD）

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低溫黑體及大面源黑體

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壓電閥及自動壓強控制儀: 瑞士INFICON氣體壓強控制儀美國HEY壓電閥

非標(biāo)真空設(shè)備

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真空泵有哪些注意事項

時間：2011-4-1閱讀：2526

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真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到*真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達到*配置，選擇真空系統(tǒng)時，應(yīng)考慮下述各點：

確定極限真空度

　　在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的*工作真空度。一般來講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。

被抽氣體種類與抽氣量

　　檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。

真空容積

　　檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。

　　考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。

主真空泵的選擇計算

　　s=2.303v/tlog（p1/p2）

　　其中：

　　s為真空泵抽氣速率（l/s）

　　v為真空室容積（l）

　　t為達到要求真空度所需時間（s）

　　p1為初始真空度（torr）

　　p2為要求真空度（torr）

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