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APC真空蝶閥介紹

時間:2024/2/2閱讀:2582
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APC真空蝶閥介紹

日揚科技的APC真空蝶閥是一種可以通過電動馬達控制蝶板的開度,從而調節真空腔體的壓力的真空閥門,主要應用于半導體、光電面板、太陽能、CVD等產業的真空制程。

產品結構介紹:

image.png


APC蝶閥一般被安裝在真空泵組與真空制程腔室之間,通過真空計反饋的電壓值控制蝶閥密封板開度大小,從而達到調節腔室壓力的目的,搭配O型圈的設計,可以隔絕真空側與大氣側,防止污染和泄漏。

控制系統介紹:日揚的APC真空蝶閥的控制器和執行器集成在一體,可以通過多種通訊接口(如MODBUS、DeviceNET等)與外部控制器或軟件進行通信。APC真空蝶閥的控制器還具有友善的用戶界面,可以方便地設定和監控閥門狀態,以及設置控制參數、循環壽命、壓力公差范圍等。

非??焖贉蚀_的壓力控制

*開閥門位置控制
*備用電源:有,用于停電時關閉閥門。
*傳感器電源:24V DC 和±15V DC 均有
 *2 個線性傳感器或模擬線性物理量的輸入
*模擬量和數位控制
*環境溫度:≤ 70°C max.(控制器部分-24HR)
*遠端控制(供客戶選擇)
*閥門可由主機(本地控制)通過RS232控制;用于初始調整。
*狀態和位置以綠色4位亮數字顯示。

日揚APC蝶閥具有控制壓力精確、反應時間短、使用壽命長、易維修等特點,搭配Htc的APC軟件,可以簡單快速地設定并監控制程壓力。


>>設置控制調整參數:PID GAIN

>>壓力和位置控制模式

>>附表測試模式=> 1 cycle schedule

>>設置閥打開/關閉速度

>>記錄APC HW/SW 版本, 序列號和型號

>>記錄閥門循環和運行時間

>>設置公差范圍的壓力

>>循環壽命和壓力控制記錄

>>控制器參數上傳和下載

>>斷電保護功能

>>屏幕截圖

>>壓力學習功能






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