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小型工藝氣體分析儀MICROPOLE系統
小型工藝氣體分析儀MICROPOLE系統與傳統的質量能譜儀相比,這種排列方式可以提供相近或者更好的靈敏度,但只占傳統質量能譜儀的一小部分體積。而且,與傳統質量能譜儀相比,本系統可以在更高的壓力環境下使用,因此,它可以減少原來需要另外配置的差壓泵設備根據可以讓用戶直接更替傳感器的轉移標準,我們的傳感器已經在工廠進行過預先調諧和校準處理,無需專業的技術性再校準當你使用帶有3.5寸LCD顯示屏的監測控制器時,不經過電腦進行數據提取也是可行的。升級到八電極系統后,它可以通過RS485或者以太網通訊進行網絡控制。
與傳統的殘余氣體分析儀相比,它只有其1/20的尺寸,這使它非常容易整合到您的系統之中。
在只占傳統電極一小部分的體積里,微型化的九電極排列提供了*的靈敏度。
可以在高于0.9Pa(7mTorr, 9 x 10-3mbar)的壓力條件下使用,在許多需要昂貴真空泵的應用當中,可以簡化或者省略泵的使用。
此傳感器接頭在出貨之前已經進行過預調諧和校準。允許客戶自己在現場進行傳感器的更換而不需要任何微調或者技術性專家鑒定。
升級到八電極后,可以通過一臺使用RS485接口的電腦進行監測。此系統也可以通過以太網進行遠程監測。
微電極掃描軟件允許用戶用各種不同的方式監測氣體的部分壓力,如趨勢曲線圖,相似性曲線圖,泄露模式,條形統計圖,3D等
可選擇性的監測控制器可以直接安裝在反應室的光譜發生器上,使用戶無需電腦就可以監測真空反應室。
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