浙江高精度氣體流量控制器

流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產生的溫度場變化 來測量氣體質量流量，通過電橋將溫度場的變化轉化為電信號并經過電 路放大、濾波處理，處理后的信號采集進處理器芯片，再通過氣體流量 外標法和溫壓補償得到準確的真實氣體流量值。氣體實際流量值與流量 設定值進行比較,  將差值通過智能算法去控制調節閥門，閉環控制流過 通道的流量使之與流量設定值相等，實現氣體流量的精準控制

MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。