當前位置：蘇州愛拓利電子設備有限公司>>氣體流量計>>氣體質量流量控制器>> MFC330蘇州微小氣體質量流量計
| 產地 | 國產 | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 量程比 | 0-2,10，20，50，100，300，500 sccm | 流量測速范圍 | 重復精度：±0.5％F.S.kg/h |
| 質保 | 1年 |
蘇州微小氣體質量流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。
產品特點
精準質量流量測量/控制
快速響應、高重復性
不受溫度和壓力的影響
工作壓差范圍大：0-1MPa
低壓損可選
全金屬比例閥可選
集成顯示器可選
經濟有效的解決方案
技術參數
主要參數
介質要求 潔凈干燥氣體
氣體種類 98+氣體可選
量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm
0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
測量范圍 0.5%F.S.（1:200）
控制范圍 1%-1 00% FS.（1:100）
準確度 ±1% F.S.
重復精度 ±0.2%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
控制響應時間 <3 秒
預熱時間 5 min（T95），30 分鐘
閥門 常閉式
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