微小氣體流量計廠家MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

TECHNICAL PARAMETERS

技術(shù)參數(shù)  主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍 0.5%F.S.（1:200）

控制范圍 1%-1  00% FS.（1:100）

準(zhǔn)確度 ±1% F.S.

重復(fù)精度 ±0.2%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時間 <3 秒

預(yù)熱時間  5 min（T95），30 分鐘

閥門 常閉式

機械特性

  工作壓力  3 MPa（30bar）

工作壓差范圍  0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃（環(huán)境和氣體）

濕度范圍  0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型  卡套、VCR、快插、快擰（可選）

氣體接觸材質(zhì)  氟橡膠、304/316不銹鋼

密封材質(zhì)  氟橡膠 FKM

防護等級  IP40

安裝方式 水平安裝方向校準(zhǔn)

固定孔 M4 ? 5mm

重量 0.96kg