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多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER氣體編輯器確定自己的氣體組成。連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。耐用。MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。

詳細介紹

性能

可用量程：0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
可調比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
可重復性：0.2%滿量程
標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（值，氦氣）
無需預熱時間

工作條件

兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
內部壓力（靜態）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）
STP/NTP：用戶可選（默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

MCE或MCV系列包裝清單：

MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件

查找配置

型號變體

閥門內置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）
閥門內置并加裝氣動截止閥的型號，適合真空應用（MCV系列）
腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）

另有：

閥門安裝在外部的標準配置型號(MC系列)

閥門選項

您可以為您的質量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預期過程條件下保持性能。

MCE系列—選配外部安裝的小型比例控制閥
MCV系列—選配內部安裝的小型比例控制閥以及外部下游安裝的氣動截止閥

腐蝕性氣體（MCES和MCVS系列）

MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S"系列配置（即MCES和MCVS系列）可供選擇。在該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。

結構選項

通訊協議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
顯示屏（單色或彩色，內置或面板安裝）
工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO配件）
彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

性能選項

流量累加器
集成式電位計控制
高精度或自定義校準

查看所有選擇項目

MCE
MCES
MCV
MCVS

艾里卡特MCE系列真空氣體質量流量控制器采用內部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。

MCE-0.5SCCM-D
MCE-1SCCM-D
MCE-2SCCM-D
MCE-5SCCM-D
MCE-10SCCM-D
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MCE-2SLPM-D
MCE-5SLPM-D
MCE-10SLPM-D
MCE-20SLPM-D

艾里卡特MCES系列真空氣體質量流量控制器采用內部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于腐蝕性氣體。

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艾里卡特MCV系列真空氣體質量流量控制器采用內部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。MCV還配有一個下游用的氣動截止閥。

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艾里卡特MCVS系列真空氣體質量流量控制器采用內部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于腐蝕性氣體。MCVS還配有一個下游用的氣動截止閥。

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