上海德竹芯源科技有限公司
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在真空環境下用熱阻絲加熱的方式將材料加熱到蒸發，真空腔室內的基片和襯底表面會形成薄膜或涂層，此過程被稱為真空熱蒸鍍，加熱材料的方式主要有熱舟式和坩堝式。
熱蒸發鍍膜
Thermal Evaporation
在真空環境下用熱阻絲加熱的方式將材料加熱到蒸發，真空腔室內的基片和襯底表面會形成薄膜或涂層，此過程被稱為真空熱蒸鍍，加熱材料的方式主要有熱舟式和坩堝式。
真空熱蒸發原理圖
由于受到熱阻絲加熱溫度的限制，熱舟蒸發鍍膜僅僅適用于低熔點和合適蒸氣壓的材料，例如常用的導電金屬，Au, Cu, Al, Ag 等，離子化合物，LiF, MgF2 等。熱舟的材質和形狀（容量）需根據應用場景來選擇?？蛻粢部筛鶕厥獾牟牧象w系來設計特殊的蒸發舟。
熱舟選型
除了熱舟蒸發之外，還可選擇坩堝式蒸發源，坩堝式蒸發源的特點是，容量大 ，適用于較低蒸發溫度的材料，例如有機物蒸發，廣泛被應用于OLED，OPV，薄膜鋰電池，鈣鈦礦太陽能電池等熱門領域。
熱舟蒸發和坩堝式熱蒸發
系統的自動控制采用的是石英晶振自動控制的 Rate Control 鍍膜機制，在整個薄膜形成過程中，蒸發速率是恒定的，在累積到目標薄膜厚度時，系統會自動結束鍍膜，以實現厚度的精確控制。
Rate control 原理
根據客戶不同的真空度要求，我們可定制真空系統，其中包括高真空版本（5 × 10-7 Torr），近超高真空版本（5 × 10-9 Torr），以及超高真空版本（5 × 10-10 Torr），以滿足不同應用領域和薄膜質量的需求。對于基底材料的特殊要求，我們可提供不同功能的樣品臺，可實現加熱、循環水冷卻、液氮冷卻和等離子體清洗。
加熱型樣品臺
冷卻型樣品臺
多片樣品臺
樣品臺偏壓
有機鍍膜應用，通過手套箱互聯
有機鍍膜應用，通過真空傳送腔互聯
應用領域：
● 低熔點金屬薄膜電極，低熔點離子化合物電極
● 透明電極
● OLED/QLED/Micro-LED
● 有機太陽能電池
● 有機鈣鈦礦太陽能電池
● 有機傳感器
● 硫化物
● 紅外傳感器
應用展示：
配置選型：
配置特點：
● 腔體尺寸：根據鍍膜基片尺寸、數量和鍍膜距離確定
● 樣品尺寸：156 × 156 mm, 200 × 200 mm, 300 × 300 mm等
● 極限真空優于 5 × 10-7 Torr（從大氣環境開始抽真空，2小時之內可達到）可定制真空度要求
● 蒸發源：熱舟式，坩堝式
● 全自動鍍率控制石英晶振監控，可根據鍍率反饋功率控制
● 基片可選加熱：Max.300℃ / 500℃ / 800℃
● 基片可選水冷，同時可旋轉
● 可配備快速進樣室
● 可與手套箱集成，支持多種集成方式
● 支持多腔體互聯，也可與其他鍍膜技術集成（磁控濺射、電子束蒸發）
● 可借助手套箱互聯PEALD系統，實現低溫條件下器件的薄膜封裝
* 若有小試，中試需求，可聯系我們了解線性蒸發機臺
配置選型：
常用配置和選型
配置特點：
● 腔體尺寸：根據鍍膜基片尺寸、數量和鍍膜距離確定
● 樣品尺寸：156 × 156 mm, 200 × 200 mm, 300 × 300 mm等
● 極限真空優于 5 × 10-7 Torr（從大氣環境開始抽真空，2 小時之內可達到）可定制真空度要求
● 蒸發源：熱舟式，坩堝式
● 全自動鍍率控制石英晶振監控，可根據鍍率反饋功率控制
● 基片可選加熱：Max. 300℃ / 500℃ / 800℃
● 基片可選水冷，同時可旋轉
● 可配備快速進樣室
● 可與手套箱集成，支持多種集成方式
● 支持多腔體互聯，也可與其他鍍膜技術集成（磁控濺射、電子束蒸發）
● 可借助手套箱互聯PEALD系統，實現低溫條件下器件的薄膜封裝
* 若有小試，中試需求，可聯系我們了解線性蒸發機臺
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