| 機型 | SV-2000系列 | SV-3000系列 |
| 測定行程 | 300MM（電動立柱） | 300MM、500MM（電動立柱） |
| 測定壓力 | 4mN/0.75mN（低測定壓力） | |
| 移動范圍 | 50MM | 100MM |
| 移動直線度 | 0.3um/50mm | 0.3um/100mm |
| 0.05+1.5L/1000um | ||
| （L=測量范圍） | ||
| 測量范圍 | 8um.80um.800um | |
以上參數以三豐原廠資料為準！
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