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KOBELCO神戶制鋼所DLC涂層設備UBMS202
KOBELCO神戶制鋼所DLC涂層設備UBMS202
“UBMS（Unbalanced Magnetron Sputtering System）系列"主要作為“DLC（Diamond-Like Carbon）涂層"的涂層設備，深受零部件、工具和模具等各個行業客戶的喜愛。
“DLC涂層"的性質很容易受涂層方法、處理溫度的影響，而我們憑借多年積累的經驗和知識，成功解決了這個問題。
1.搭載自主研發的濺射蒸發源“UBMS系列"是一種搭載有神戶制鋼所自主研發蒸發源的濺射設備。通過優化磁場配置，在涂層時強化等離子體，同時改善對于膜質量控制非常重要的“離子輔助效果"?？梢灾圃斐鼍哂辛己帽砻娲植诙鹊哪?。
2.也可利用PE-CVD方法進行DLC涂層還可實現這樣的處理：先通過濺射形成可提高附著力的涂層，然后以PE-CVD方法涂層DLC膜。
PE-CVD方法：將氣體作為涂層原料的涂層技術。主要使用甲烷或乙炔涂層DLC膜。與UBMS方法相比，PE-CVD方法能夠以5倍以上的速度涂層，并且可在維持潤滑特性的同時提高“生產效率"，而這正是UBMS方法的問題所在。
UBMS202,UBMS504,UBMS707,
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