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簡要描述:SE-Mapping 光譜橢偏儀是一款可定制化Mapping繪制化測量光譜橢偏儀。
概述
SE-Mapping 光譜橢偏儀是一款可定制化Mapping繪制化測量光譜橢偏儀,采用行業前沿創新技術,配置全自動Mapping測量模塊,通過橢偏參數、 透射/反射率等參數的測量,快速實現薄膜全基片膜厚以及光學參數自定義繪制化測量表征分析。
。全基片橢偏繪制化測量解決方案
。支持產品設計以及功能模塊定制化,一鍵繪制測量
。配置Mapping模塊,全基片自定義多點定位測量能力
。豐富的數據庫和幾何結構模型庫,保證強大數據分析能力
產品特點
采用氘燈和鹵素燈復合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm);
高精度旋轉補償器調制、PCRSA配置,實現Psi/Delta光譜數據高速采集;
具備全基片自定義多點自動定位測量能力,提供全面膜厚檢測分析報告;
數百種材料數據庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料;
產品應用
廣泛應用OLED,LED,光伏,集成電路等工業應用中,實現大尺寸全基片膜厚、光學常數以及膜厚分布快速測量與表征。
建議配件
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真空泵 | 透射吸附組件 |
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