三次元測量設(shè)備技術(shù)特點：

三軸均采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承組成的靜壓氣浮式導(dǎo)軌，軸承跨距大，抗角擺能力強(qiáng)，阻力小、無磨損、運動更平穩(wěn)。

采用反射式金屬帶狀光柵計量系統(tǒng)，與大多數(shù)工件具有相近的熱膨脹系數(shù)，確保了良好的重復(fù)精度。

傳動系統(tǒng)采用國際高性能直流伺服電機(jī)、齒形帶傳動裝置，確保傳動更快捷、更精準(zhǔn)、運動性能更佳。

Z軸采用氣缸平衡裝置，極大的提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性。

控制系統(tǒng)采用英國RENISHAW ucc系統(tǒng)，上下位機(jī)式的雙計算機(jī)系統(tǒng)，從而極大地提高系統(tǒng)的可靠性和抗干擾能力，降低了維護(hù)成本。

三次元測量設(shè)備測頭系統(tǒng)：

01、測頭：

RENISHAW PH10T自動雙旋轉(zhuǎn)分度測頭座

特  點：自動雙旋轉(zhuǎn)測頭座，可實現(xiàn)空間7.5°步距的任意角度旋轉(zhuǎn)；具有防碰撞保護(hù)功能，保護(hù)測座本身在受到外力時的自身損壞；配備有M8測頭接口，可提供不同的測頭之間的轉(zhuǎn)換。

技術(shù)參數(shù)：

分度機(jī)構(gòu)：

繞A軸（水平軸）     范圍 0°～105°最小步距7.5°

繞B軸（鉛垂軸）     范圍±180°    最小步距7.5°

空  間  位  置       720個

最大輸出扭矩         0.45Nm

允許最大加長桿長度   300 mm

重量                 645g

接口                 M8螺紋

控制器               UCC

重復(fù)定位精度<0.5 μm 使用 TP2 和 PS1R 測針

RENISHAW  TP20觸發(fā)測頭（含1個標(biāo)準(zhǔn)測力模塊）

技術(shù)參數(shù)： 感應(yīng)方向   ±X    ±Y   ﹢Z

測針接口   M2

重量       22g

額定壽命   ＞106次

02、測針組（mm）:

測針加長桿（mm）：

測頭加長桿(mm):

測針中心座（mm）：

03、校準(zhǔn)器：標(biāo)準(zhǔn)球Φ25及球座       1套

04、精度指標(biāo)：

長度計量系統(tǒng)：英國進(jìn)口RENISHAW精密光柵尺

RENISHAW讀數(shù)頭分辨率：0.5 um

示值誤差：  E≤2.0＋3.3L/1000um

探測誤差：  R≤2.0um

c、環(huán)境要求

溫度：20+2℃  1℃/h   1℃/m  2℃/24h

濕度：40%-70%

電源：220V±10%,   50HZ-60HZ

氣源：≥0.55Mpa