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日本科賦樂流量計-多功能配氣儀
日本KOFLOC
BRENDA 多功能配氣儀
BRENDA系列配備了KOFLOC自主開發的數字是DF200系列質量流量控制器
相對于傳統配氣儀,可以更精確的控制混合氣體中的混合比
另外還配備的8英寸的觸摸屏,讓操作更加清晰、簡單
精度±1.0%RD、響應速度1秒以內
8英寸觸摸屏
多種混合模式
可以預存混合程序,一鍵運行
支持數據記錄
各種附加功能:加密報警切斷累計流量等等
日本科賦樂流量計-多功能配氣儀
日本KOFLOC
BRENDA 多功能配氣儀
性能參數:
型號 | BR-2C | BR-3C | BR-4C | |
控制方式 | 內部集成 質量流量控制器 | |||
精度 | ±1.0%RD | |||
MFC響應速度 | 全量程1秒以內 | |||
使用氣體 | 常規非腐蝕氣體、以及腐蝕氣體(單獨說明) | |||
流量范圍 | 每個分路3SCCM-50SLM,混合后總流量100SLM以下 | |||
耐壓 | 0.8Mpa | |||
管路接口 | RC1/4 | |||
使用溫度/濕度 | 5-50℃、10-80%RH | |||
尺寸(MM) | 380*390*330 | 480*390*330 | ||
設備重量 | 30KG | 37KG | 40kg | |
消耗電力KW | 0.1kw | |||
電壓 | AC100-240V,50-60HZ |
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