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美國艾里卡特質量流量計-數字式的性能參數：
| 性能/參數 | 數字式質量流量計 |
| 流量范圍 | 0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等 |
| 標定氣體 | 內置90條氣體可選擇 |
| 精度(調零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) |
| 高精度(調零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM |
| 重復性 | ±0.2%FS |
| 漂移(零點/滿量程) | 0.02% F.S/ºC/Atm |
| 工作范圍 | 0.5- |
| 響應時間 | 10毫秒(可調整) |
| 啟動預熱時間 | 1秒內 |
| 標準工況 | 25ºC & 14.696 psia，可自定義修改 |
| 工作溫度范圍 | -10~-50℃(另有高溫訂制品) |
| 工作濕度范圍 | 0-RH(非冷凝) |
| 大工作壓力 | 10Bar |
| 大工作壓差 | 5bar |
| 安裝方向 | 任意 |
| 材質 | SUS302303304不銹鋼、密封圈VITON |
| 顯示屏 | 背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度 |
| 數字信號 | 標準RS232 選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太網RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
| 模擬信號 | 標準0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA |
| 第二路模擬信號 | 標準0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA |
| 電氣接口 | 標準圓形8芯 選配:圓形6芯、DB9、DB15 |
| 供電電壓 | +24VDC |
| 消耗電流 | 100mA以內 |
Alicat質量流量計采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量計均具有NIST可溯源校準證書。
美國艾里卡特質量流量計-數字式的使用注意
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力5公斤。
五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作。
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