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美國艾里卡特耐腐蝕質量流量計的性能參數：
| 性能/參數 | 耐腐蝕抗腐蝕系列質量流量計 |
| 流量范圍 | 0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等 |
| 標定氣體 | 內置130條氣體可選擇 含腐蝕氣體(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等) |
| 精度(調零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) |
| 高精度(調零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM |
| 重復性 | ±0.2%FS |
| 漂移(零點/滿量程) | 0.02% F.S/ºC/Atm |
| 工作范圍 | 0.5- |
| 響應時間 | 10毫秒(調整) |
| 啟動預熱時間 | 1秒內 |
| 標準工況 | 25ºC & 14.696 psia，可自定義修改 |
| 工作溫度范圍 | -10~-50℃(另有高溫訂制品) |
| 工作濕度范圍 | 0-RH(非冷凝) |
| 大工作壓力 | 10Bar |
| 大壓差 | 5Bar |
| 安裝方向 | 任意 |
| 閥門狀態 | 常閉 |
| 材質 | SUS316L不銹鋼、密封圈FFKM(Kalrez) |
| 顯示屏 | 背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度 |
| 數字信號 | 標準RS232 選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太網RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
| 模擬信號 | 標準0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA |
| 第二路模擬信號 | 標準0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA |
| 電氣接口 | 標準圓形8芯 選配:圓形6芯、DB9、DB15 |
| 供電電壓 | +24VDC |
| 消耗電流 | 100mA大 |
美國艾里卡特耐腐蝕質量流量計的的優勢有哪些呢？
一. 應用范圍廣泛
二. 電子技術先進
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