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質量流量計和質量流量控制器的區別

時間:2020/6/8閱讀:3475
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途和特點
氣體質量流量控制器(MFC)在石化工業、生化、半導體和集成電路工業、特種材料學科、醫藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的場合包括:電子工藝設備,如:氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應裝置、混氣配氣系統、真空鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。
結構

氣體質量流量計由流量傳感器(Sensor),分流器通道和流量放大電路等部件組成;在氣體質量流量計的基礎上,再加上調節閥門和PID控制電路就構成了氣體質量流量控制器。
工作原理
•流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。
•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較,再將差值信號放大后去控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
•與之配套的流量顯示儀上設置有穩定電源,3位半數字電壓表,設定電位器,外設、內設轉換和三位閥控開關等。
•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質量成正比,滿量程(F.S)流量檢測輸出電+5V。氣體質量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S(程比為50:1)

主要技術指標

編號 項目 MF-200C MF-200M
1 流量規格(N2) 10sccm~30slpm 
2 準確度 ±1%F.S(Full Scale)
3 重復精度 ±0.25%F.S(Full Scale)
4 響應時間 ≤2sec(特別要求時:≤1sec)
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環境溫度 0℃~50℃
7 輸入輸出信號 0~5V 0~5V or 4~20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范圍 2~100%滿量程

質量流量計:質量流量計只是單純的顯示流量但并不控制。

質量流量控制器:質量流量控制器既能顯示顯示流量又有控制功能,流量計內部多了個電磁調節閥來實現控制流量大小。

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