日韩毛片在线视频-日韩毛片在线影视-日韩美aaa特级毛片-日韩美a一级毛片-久久夜夜操妹子-久久夜夜肉肉热热日日

快速發(fā)布求購 登錄 注冊
行業(yè)資訊行業(yè)財報市場標準研發(fā)新品會議盤點政策本站速遞

基于對稱Littrow結構的雙光柵共模誤差抑制技術

研發(fā)快訊 2025年04月22日 08:56:46來源:中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 19821
摘要光柵位移傳感器因其高精度、高測速、大量程的特性,被廣泛應用于半導體制造、航空航天、精密機床等領域。

  【儀表網 研發(fā)快訊】光柵位移傳感器因其高精度、高測速、大量程的特性,被廣泛應用于半導體制造、航空航天、精密機床等領域。
 
  工作過程中,光柵位移傳感器的基準光柵與待測物體剛性連接,移動部件產生的隨機角度誤差會影響測量精度。因此,消除隨機角度誤差是提升光柵位移傳感器精度的關鍵環(huán)節(jié)。
 
  按照基準光柵的數量進行區(qū)分,光柵位移傳感器可以分為單光柵系統(tǒng)與多光柵系統(tǒng)。傳統(tǒng)的單光柵系統(tǒng)對隨機角度誤差非常敏感,輕微的角度變化就會導致測量系統(tǒng)失效。多光柵系統(tǒng)中有兩塊以上的基準光柵,它們共同完成衍射光束的角度調制,利用平均效應可以使多光柵系統(tǒng)部分抑制隨機角度誤差干擾。然而,傳統(tǒng)的多光柵系統(tǒng)的量程較小,對元件的公差較為敏感,這些因素都限制了多光柵系統(tǒng)的精度提升和工業(yè)應用。
 
圖1 光柵位移傳感器在多個領域的廣泛應用
 
  針對這一技術問題,中國科學院長春光學精密機械與物理研究所國家光柵制造與應用工程技術研究中心李文昊研究團隊提出一種基于對稱Littrow結構的雙光柵共模誤差抑制技術(SLGIM)。該系統(tǒng)主體光路放置于兩塊光學參數一致的基準光柵所構成的夾層中,展現為“三明治”結構。測量系統(tǒng)包含兩個等光程的互補測量臂,雙臂之間存在共模抑制關系。由于隨機角度誤差對兩測量臂的影響是共軛的,所以發(fā)生角度變化時兩束測量光仍然保持為合束干涉狀態(tài),不僅不會引入額外的光程差,而且不會造成信噪比降低。經驗證,相同的外部控制下,對稱Littrow結構雙光柵共模誤差抑制系統(tǒng)的測量精度是傳統(tǒng)光柵干涉測量系統(tǒng)(ULGIM)的1.6倍。
 
  該成果發(fā)表于Laser & Photonics Reviews期刊,標題為“A Random Angle Error Interference Eliminating Method for Grating Interferometry Measurement Based on Symmetry Littrow Structure”。文章鏈接:https://doi.org/10.1002/lpor.202401659
 
  圖2 研究亮點與實驗結果(a)不同角度誤差下兩束干涉測量光在探測器表面的重合狀態(tài)(b)100mm量程下SLGIM和ULGIM的誤差分布(c)SLGIM和ULGIM的誤差對比和統(tǒng)計學參數分析結果。
 
  長春光機所2023級光學專業(yè)博士研究生周文淵為第一作者,長春光機所李文昊研究員為通訊作者。本工作還獲得了長春光機所劉兆武副研究員、孫宇佳助理研究員、劉林助理研究員、吉林大學王偉成博士的支持。本工作獲得了國家自然科學基金重點項目、中國科學院穩(wěn)定支持基礎研究領域青年團隊計劃以及中國科學院青年創(chuàng)新促進會基金的支持。

我要評論
文明上網,理性發(fā)言。(您還可以輸入200個字符)

所有評論僅代表網友意見,與本站立場無關。

延伸閱讀
版權與免責聲明
  • 凡本網注明"來源:儀表網"的所有作品,版權均屬于儀表網,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明"來源:儀表網"。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
  • 本網轉載并注明自其它來源的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點或證實其內容的真實性,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品來源,并自負版權等法律責任。
  • 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內與本網聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。
  • 合作、投稿、轉載授權等相關事宜,請聯(lián)系本網。聯(lián)系電話:0571-87759945,QQ:1103027433。
廣告招商
今日換一換
新發(fā)產品更多+

客服熱線:0571-87759942

采購熱線:0571-87759942

媒體合作:0571-87759945

  • 儀表站APP
  • 微信公眾號
  • 儀表網小程序
  • 儀表網抖音號
Copyright ybzhan.cn    All Rights Reserved   法律顧問:浙江天冊律師事務所 賈熙明律師   儀表網-儀器儀表行業(yè)“互聯(lián)網+”服務平臺
意見反饋
我知道了
主站蜘蛛池模板: 97夜夜操 | 精品国产91乱码一区二区三区 | 成人午夜视频免费 | 韩国欧洲一级毛片免费 | 欧美怡红院免费全视频 | 成人激情视频 | 99精品在线观看视频 | 欧美乱妇高清无乱码 | 在线看的你懂的 | 久久夜色撩人精品国产 | 一男一女下面一进一出性视频 | 国产第一亚洲 | 国产男女猛烈无遮挡 | 黄色免费网站在线播放 | 日本视频www色变态 日本爽p大片免费观看 | 很黄很色很爽无病毒网站 | 欧美视频一区在线观看 | 日韩资源在线 | 怡春院欧美杂交a | 美国一级大黄香蕉片 | 成年在线观看网站免费视频 | 色婷婷狠狠久久综合五月 | 精品国产免费一区二区 | 99re在线视频免费观看 | 免费又黄又硬又大爽日本 | 操片免费看 | 天天草天天 | 中文字幕亚洲国产 | 无遮挡黄漫动漫yy动漫免费 | 国产三级网站在线观看 | 午夜国产精品久久影院 | 欧美色图另类图片 | 一个人晚上在线观看的免费视频 | 五月综合色 | 青青草狠狠操 | 午夜性爽快免费视频播放 | 国产一区二区三区在线影院 | 黑丝袜照片 | 国产99视频精品免费观看7 | 色婷婷影院在线视频免费播放 | 男女男精品视频网站在线观看 |