分辨率 | 5nm (30kV, SE Image) |
放大倍率 | 30x~100,000x (有效放大倍率60,000x) |
加速電壓 | 5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step) |
圖像 | 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
Observation mode | Standard Mode |
電子槍系統 | |
燈絲類型 | 預對中鎢燈絲 |
偏壓系統 | 自動偏壓方式 |
電子槍校正 | 手動方式 |
透鏡構成 | |
聚光鏡 | 2段式磁線圈透鏡 |
物鏡 | 1段式磁線圈透鏡 |
探測器類型 | E-T Detector |
載物臺系統 | 5軸操控,X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°,Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45° |
Image shift | X, Y Image Shift (100?) |
樣品zui大尺寸 | 80mm in diameter, 35mm in height |
圖像掃描速度 | 快速掃描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速掃描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) | |
圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.) | |
圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.) | |
自動功能 | 自動啟動,自動聚焦,自動亮度對比度調節 |
圖像存儲方式 | BMP, JPEG, PNG |
數據顯示 | 放大倍率,探測器類型,電壓,真空模式,文本,標尺等 |
真空系統 | 全自動型/高者空模式+低真空模式(Multi mode) (旋轉式機械泵)Rotary Pump/100Liters/min (渦輪式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec 抽真空時間:3分鐘以內 |
操控系統 | 鼠標和鍵盤 |
運行系統 | 電鏡筆記本電腦 OS : Microsoft Window 7 CPU : In CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version |
軟件 | 圖像文件打開,編輯,存儲功能 長度,面積,角度等測量功能 設置數值初始化,圖像拍攝模式轉換,Archives, Setting(EDS)模式等 |
體積 | 設備主機-390(W)×330(D)×560(H)mm……1set 控制主機-390(W)×315(D)×560(H)mm……1set 外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set |
重量 | 98kg |
設備環境 | 溫度:15℃~30℃ 濕度:70% or less 電源:Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |
預對中鎢燈絲 | 5 pcs/box |
載物臺 | 15mm dia. (10 pcs) |
25mm dia. (10 pcs) | |
15mm 45° Tilt (5 pcs) | |
15mm 90° Tilt (5pcs) | |
真空潤滑油 | 1ea |
高度基準模塊 | 1ea |
6角扳手 | 1set |
掃描電鏡軟件修復用CD | 1ea |
銀膠(Silver Paste) 30g | 1ea |
碳導電膠帶 | 1roll |
剪刀 | 1ea |
洗耳球 | 1ea |
鑷子 | 1ea |
工具箱 | 1ea |