超高壓電子顯微鏡(high voltage electron microscope)的加速電壓是500kv或更高,這種電鏡有許多優點:

1.由于加速電壓高，因此電子束的穿透能力強，光學顯微鏡樣品對電子的散射截面小，因此樣品的厚度可增大，若利用立體照相技術(參見“掃描電鏡標本制備方法”中的有關段落)便可得到樣品的三維結構，如細胞中微梁系統的結構，高爾基體的空間分布等。

2.由于加速電壓高.樣品的散射截面小.電子束和樣品的作用誠弱，因此電離損傷小，因而有利于觀察生物和高分子樣品。但要注意麥克奧迪顯微鏡的入射電子引起的錯位損傷(即原子核因入射電子而產生位移)。

3.由于加速電壓高，穿透標本后引起的能搶損失相對于入射能量小，因此色差小，分辨率較高.此外，加速電壓高，電子波長縮短，也是提高分辨率的一個原因。

掃描透射電子顯微鏡(STEAK)通常指透射電鏡中有掃描附件，尤其是有了高亮度的場發射電子槍，束斑縮小了，麥克奧迪顯微鏡分辨率接近透射電鏡的相應值時，便顯出了這類型電鏡的許多優點.首先是不經電磁透鏡成像，因而不受像差影響.電子經過較厚的樣品引起的能童損失不會形成色差而影響分拼率，所以可觀察較厚的標本。加速電壓不高，一般在20^-4OkV范圍.由于是逐點成像，電子束在標本上的“點”停留的時間較短，因而雖用強電流的電子束照射但不至損害標本，而且還會得到清晰的像。這種電鏡一般是后接分析器，如接連X射線能譜儀和電子能量損失譜儀等附件。有的實驗室將其與能量分析器相接可以分別收集和處理彈性散射和非彈性散射電子，從而觀察單個原子.在八十年代便已得到清晰的金屬原子像。

由于以上原因，超高壓電鏡頗受材料科學工作者和生物科學工作者的青睞.但是由于高壓發生器和加速器裝在大絕緣箱內，鏡筒也長，筒壁厚，因此麥克奧迪顯微鏡所占空間大(一般需二層樓房的高度)。因此顯微鏡價格昂貴，安裝條件要求嚴格，目前主要用在材料及金屬結構的研究上。

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