應用：
LINE TECH氣體質量流量流量計和流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。
優勢：
l 測量質量流量
l 不需要溫度、壓力補償
l 緊湊的流量控制系統
l 高精度（±1%F.S）
l 耐高壓（70公斤）
l 快速響應時間（＜1秒）
l 高重復性（±0.25%F.S）
l 量程范圍:30-100 SLPM
規格：
| 型號 | M3100V |
| 流量范圍（N2） | 30~100 slpm |
| 響應時間 | ＜2秒 |
| 精確度 | ±1% |
| 重復精度 | ±0.25% |
| 輸入輸出信號 | 0~5Vdc |
| 供電 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
| zui大工作壓力 | 30~1000 psia |
| zui大工作溫度 | 0~50℃ |
| 漏率 | 1×10-9atm.cc/sec |
| 控制范圍 | 2~ |
尺寸：
