成都松盛測控技術有限公司的氣體質量流量控制器,適用于控制多種不同氣體的質量流量。其中包含一些特殊氣體,比如:氘氣、氚氣、臭氧等。今天就跟大家聊聊臭氧氣體質量流量控制器,這是一款基于質量流量控制技術設計的專用設備,其核心功能是精確調控臭氧(O?)的質量流量。由于臭氧具有強氧化性和腐蝕性,因此流量控制器需在常規氣體質量流量控制器基礎上進行特殊設計。
臭氧氣體質量流量控制器的量程范圍廣泛:從5sccm——3000slm均可標定定制,需覆蓋實際應用需求(如實驗室常用0~10 SLPM,工業場景可達0~500 SLPM)。本公司產品的耐壓等級非常高,常規是3Mpa可選10Mpa,但是實際使用的時候臭氧系統壓力通常高于常規氣體即可。
臭氧氣體質量流量控制器在半導體制造、水處理等工藝中,控制臭氧氣體參與反應的流量,例如ALD(原子層沉積)工藝中的氧氣流量控制。