XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用——從科研機構的測量實驗室、航空和航天工業(yè)直至光學工業(yè)。這一測量機的測量精度達到技術極限,其測量范圍近1立方米，測量精度達到0.3μm。創(chuàng)新的驅(qū)動技術和碳化硅陶瓷材料的使用也確保了機器的動態(tài)性能。
創(chuàng)新的機械設計
蔡司 XENOS新型的機械設計基于經(jīng)過驗證的 蔡司 center max.令人印象深刻。與標準橋式測量機不同:Y導軌分布于側壁頂部,分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動,更小及恒定的移動重量一一與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。
所有軸均采用線性驅(qū)動
XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動。其優(yōu)點:高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動無剪切力影響結合超高分辨率光柵尺技術, XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于結合超高分辨率光柵尺技術, XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的定位精度。例如,測針偏移量越恒定,即可獲得更佳的測量精度,于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢:測針的移動路徑與預定值越吻合,即可實現(xiàn)越出色的精確性。
虛擬驅(qū)動
于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢:測針的移動路徑與預定值越吻合,即可實現(xiàn)越出色的精確性。虛擬驅(qū)動 XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng),得益于蔡司全新的驅(qū)動技術可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動力作為全新控制系統(tǒng)及算法之結合,這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關鍵因素。
碳化硅陶瓷
XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng)得益于蔡司全新的驅(qū)動技術可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動力作為全新控制系統(tǒng)及算法之結合,這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關鍵因素。碳化硅陶瓷 XENOS在與精度密切相關的機器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止,該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機器上得到使用與常規(guī)陶瓷相比,碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可提升30%,同時減重20%。
加強型 vast gold
XENOS采用 蔡司 vast gold測量探頭。在研發(fā)過程中,蔡司在測量精度和測量重復度方面對該探頭進行了優(yōu)化 XENOS也采用了新型剛性連接。VASTgold探頭可與長度為800毫米的測針以及重量500克的測針配套使用,包括非對稱型測針。
改進的電子設計
通過全新的電子設計,移動線纜對精度影響顯著降低。計算機輔助精度修正(C-AA)法和特殊附加CAA修正技術在獲得高精度測量的過程中扮演著日趨重要的作用。
優(yōu)化的氣浮軸承
全新強化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測量精度。
儀器參數(shù)/儀器型號 | XENOS |
測量范圍（mm） | 900* 1500 *700 |
測量精度（μm） | 0.3+L/1000 *起 |
工作模式 | 機動/自動 |
長度測量系統(tǒng) | 玻璃陶瓷光柵尺 |
探頭系列 | 加強型 VAST gold |
軟件 | CALYPSO |
配套 | TEMPAR環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)、自動測頭更換系統(tǒng)、主動式電子控制氣動減震系統(tǒng) |
工作電源 | 100-240V（±10%），50-60Hz（±3.5%） |
*備注：L=測量長度，以mm為單位
根據(jù)設備規(guī)格、所配探頭及使用環(huán)境，精度有所不同
