MPI探針臺（各尺寸手動、半自動機型；高頻、高壓機型；高低溫機型；力學/光學/真空/磁學模塊等等）。

MPI探針臺系統(tǒng)專業(yè)提供探針臺及所有相關直流/射頻附件以及相關半導體測試整體解決方案。得益于其的性價比，廣受國內外用戶的好評。TS150,TS200,TS300是常用的手動式探針臺，簡單，直觀，方便，  并確保  高度準確的測量。

以下是MPI探針臺的特點：

 Air-bearing stage-氣浮式樣品臺技術：很多探針臺的廠家通常配備的是傳統(tǒng)的滾珠式/軸承式樣品臺，內部移動是都會產生摩擦，因此存在了響應慢，易損耗，需定期維護（添加潤滑油）等固有缺點。MPI探針臺的載物臺采用的氣浮支撐技術，我們成為Air-bearing stage技術。很好解決了傳統(tǒng)的滾珠式/軸承式樣品臺固有缺點，即消除內部摩擦，避免日常使用損耗，免去定期維護等麻煩。并且該設計可以使得樣品臺在移動范圍內360°移動，而不受X/Y導軌限制移動（其他品牌無法同時X/Y移動，只能選一個方向移動）。

b. Platen Lift技術-三段平面式升降及下針：影響探針臺測試結果很大程度上取決于探針與樣品的接觸。MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下針并且內置安全鎖（其他廠家是兩段），不僅實現了1um重復性，同時也使得整個下針過程變得十分平緩且平穩(wěn)從而避免了撞針。這大大提升了用戶的體驗，方便了用戶的操作。

c.溫控觸屏設計：MPI手動探針臺可以選配各類樣品臺，包含2英寸、4英寸、6英寸、8英寸樣品臺，及加熱樣品臺（200℃/300℃）。并且配備智能化觸摸屏，可以隨時快速調節(jié)樣品臺加熱問題，實時顯示溫度變化。高精度、便捷的溫度控制功能，便于客戶進行實驗設計和測試。

d. Microscope bridge mount：MPI探針臺具備了Microscope bridge mount，方便用戶自行購置并升級顯微鏡。這點也是其他探針臺所不具備的。對于這類的用戶而言，如果今后要升級顯微鏡，只能從探針臺原廠購買。但是其實探針臺廠家往往并不制造光學顯微鏡。而MPI則更多的為客戶考慮，把顯微鏡的選擇權交在客戶手里。這也是MPI設計了Microscope bridge mount的初衷。

e. 所有核心部件均自行生產：諸如主機臺，直流/射頻探針座，直流/射頻線纜及探針等核心部件均為MPI公司自行生產。很多探針臺廠商的射頻探針也都是從MPI購買的。此外，MPI探針臺的產品線也非常豐富，擁有手動、半自動、全自動、射頻/微波、高功能等所有探針臺系列。 

設備結構：