MPI TS200-THz 毫米波手動探針臺
TS150-AIT和TS200-THZ探頭系統為新興THz應用擴展了MPI無二的系統解決方案，如高速5G通信，衛星，非侵入式光譜，安全和監視，醫療和保健設備，以及短距離汽車雷達通過在同一探測臺上增加有源阻抗調諧器集成。這兩個系統是業界明確設計的150 mm和200 mm探頭系統，可為毫米波，太赫茲和自動阻抗調諧器應用提供精確測試，并具有的測量方向性。
無縫集成任何帶狀，差分或寬帶頻率擴展器，可達1.5 THz和/或自動阻抗調諧器
擴展器/調諧器集成的新穎設計，可實現的測量動態
的機械穩定性和可重復性，以及方便和安全的操作
| 空氣軸承MPI的氣墊載物臺設計，具有簡單的單手圓盤控制，通過快速的XY導航和快速的晶圓裝載提供了的操作便利性，同時又通過25x25mm的XY-Theta千分尺精確移動提供了精確的定位。 |
| 帶有Probe Hover Control™的壓板提升機MPI TS200-THZ手動測頭系統具有的功能，這些都是具有高度可重復性（1 µm）的壓板提升設計，具有用于安全，接觸，分離（300 µm）和加載（3 mm）的三個離散位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時提供直觀的控制，準確的觸點定位和安全設置。如果毫米波和次太赫茲范圍內的探頭成本很高，則此功能尤其重要。 附加的Probe Hover Control™具有懸停高度（50、100或150 µm），可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。 |
| 卡盤Z調整TS150-TH有10mm的精細卡盤Z調整，旨在靈活地集成不同的擴頻器，例如Rohde＆Schwarz，VDI或OML。對于在同一探頭系統上使用多個彎曲解決方案的設置非常有利-可以輕松快速地進行設置。 |
 | MicroPositioners的多種配置專用的極剛性探針臺板設計可容納兩個東西方向的粗體->向下MP80大面積MicroPositioner。通過將兩個南北“電橋”作為標準配置，可以輕松進行四端口RF測量或DC偏置。 |
 | MP80-DX市場上另一個MPI開拓性解決方案–的MP80-DX具有Δl低至1µm的簡單，精確的清晰度–是精確且經濟高效的多線TRL的理想選擇-多行TRL –毫米波和次太赫茲范圍內的RF校準方法。欲了解更多詳情，請訪問 MPI QAlibria ®軟件。 |
 | 各種卡盤選項TS200-THZ提供多種 卡盤選件， 以滿足不同的預算和應用要求，例如MPI：
所有卡盤都有兩個由陶瓷材料制成的輔助卡盤，用于精確的RF校準，尤其是在40 GHz以上的范圍內。 |
 | 各種光學選項提供專用的 MPI光學元件 ，可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光學變焦高達12倍，工作距離超過45毫米。由于集成擴頻器固有的空間限制，要求與DUT的距離最短，因此這種顯微鏡的體積小，非常適合RF和mmW應用。 |
 | 擴頻器集成TS200-THZ集成了全新的擴頻器集成設計。為了地減少到DUT的距離并提供的測量方向性，MPI引入了一種新穎的概念，將擴展器懸停在整個200 mm晶圓上。新型TS200-THZ探針臺的附加關鍵功能是輕松，便捷和快速地重新配置。 在不同頻段之間切換時，防撞保護器已嵌入到設計中，以提高安全性。 |
