MPI TS200-THz 毫米波手動探針臺
TS150-AIT和TS200-THZ探頭系統(tǒng)為新興THz應(yīng)用擴(kuò)展了MPI無二的系統(tǒng)解決方案，如高速5G通信，衛(wèi)星，非侵入式光譜，安全和監(jiān)視，醫(yī)療和保健設(shè)備，以及短距離汽車?yán)走_(dá)通過在同一探測臺上增加有源阻抗調(diào)諧器集成。這兩個系統(tǒng)是業(yè)界明確設(shè)計(jì)的150 mm和200 mm探頭系統(tǒng)，可為毫米波，太赫茲和自動阻抗調(diào)諧器應(yīng)用提供精確測試，并具有的測量方向性。
無縫集成任何帶狀，差分或?qū)拵ьl率擴(kuò)展器，可達(dá)1.5 THz和/或自動阻抗調(diào)諧器
擴(kuò)展器/調(diào)諧器集成的新穎設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)的測量動態(tài)
的機(jī)械穩(wěn)定性和可重復(fù)性，以及方便和安全的操作
| 空氣軸承MPI的氣墊載物臺設(shè)計(jì)，具有簡單的單手圓盤控制，通過快速的XY導(dǎo)航和快速的晶圓裝載提供了的操作便利性，同時又通過25x25mm的XY-Theta千分尺精確移動提供了精確的定位。 |
| 帶有Probe Hover Control™的壓板提升機(jī)MPI TS200-THZ手動測頭系統(tǒng)具有的功能，這些都是具有高度可重復(fù)性（1 µm）的壓板提升設(shè)計(jì)，具有用于安全，接觸，分離（300 µm）和加載（3 mm）的三個離散位置。這些功能可防止意外的探針或晶圓損壞，同時提供直觀的控制，準(zhǔn)確的觸點(diǎn)定位和安全設(shè)置。如果毫米波和次太赫茲范圍內(nèi)的探頭成本很高，則此功能尤其重要。 附加的Probe Hover Control™具有懸停高度（50、100或150 µm），可輕松方便地將探頭與焊盤對齊。 |
| 卡盤Z調(diào)整TS150-TH有10mm的精細(xì)卡盤Z調(diào)整，旨在靈活地集成不同的擴(kuò)頻器，例如Rohde＆Schwarz，VDI或OML。對于在同一探頭系統(tǒng)上使用多個彎曲解決方案的設(shè)置非常有利-可以輕松快速地進(jìn)行設(shè)置。 |
 | MicroPositioners的多種配置專用的極剛性探針臺板設(shè)計(jì)可容納兩個東西方向的粗體->向下MP80大面積MicroPositioner。通過將兩個南北“電橋”作為標(biāo)準(zhǔn)配置，可以輕松進(jìn)行四端口RF測量或DC偏置。 |
 | MP80-DX市場上另一個MPI開拓性解決方案–的MP80-DX具有Δl低至1µm的簡單，精確的清晰度–是精確且經(jīng)濟(jì)高效的多線TRL的理想選擇-多行TRL –毫米波和次太赫茲范圍內(nèi)的RF校準(zhǔn)方法。欲了解更多詳情，請?jiān)L問 MPI QAlibria ®軟件。 |
 | 各種卡盤選項(xiàng)TS200-THZ提供多種 卡盤選件， 以滿足不同的預(yù)算和應(yīng)用要求，例如MPI：
所有卡盤都有兩個由陶瓷材料制成的輔助卡盤，用于精確的RF校準(zhǔn)，尤其是在40 GHz以上的范圍內(nèi)。 |
 | 各種光學(xué)選項(xiàng)提供專用的 MPI光學(xué)元件 ，可以選擇單管MPI SuperZoom SZ10或MegaZoom MZ12，其光學(xué)變焦高達(dá)12倍，工作距離超過45毫米。由于集成擴(kuò)頻器固有的空間限制，要求與DUT的距離最短，因此這種顯微鏡的體積小，非常適合RF和mmW應(yīng)用。 |
 | 擴(kuò)頻器集成TS200-THZ集成了全新的擴(kuò)頻器集成設(shè)計(jì)。為了地減少到DUT的距離并提供的測量方向性，MPI引入了一種新穎的概念，將擴(kuò)展器懸停在整個200 mm晶圓上。新型TS200-THZ探針臺的附加關(guān)鍵功能是輕松，便捷和快速地重新配置。 在不同頻段之間切換時，防撞保護(hù)器已嵌入到設(shè)計(jì)中，以提高安全性。 |
