CME-RGA6500小分子在線質(zhì)譜儀的主要應(yīng)用方向，半導(dǎo)體工業(yè)、真空鍍膜(PVD、CVD)、刻蝕、粒子加速器；CO2還原，程序升溫脫附、化學(xué)化工、儲(chǔ)能材料、硝酸根還原、燃料電池尾氣檢測(cè)、電-光-熱催化、汽車尾氣分析、電催化合成氨、熱分析、固定床、電解水析氫/析氧、扣電-軟包等電池產(chǎn)氣、光催化水制氫燃料電池研究、發(fā)酵微生物呼吸氣體監(jiān)控、人呼吸監(jiān)控、環(huán)境氣體分析、地質(zhì)分析、冶金過程、各種催化過程等等。
在線氣體質(zhì)譜儀與TGA實(shí)現(xiàn)聯(lián)用，能夠快速地分析熱重測(cè)試過程中逸出氣體產(chǎn)物；在線質(zhì)譜儀可與各種催化劑評(píng)價(jià)裝置，反應(yīng)釜，氣相色譜等連用，在線實(shí)時(shí)檢測(cè)過程中的氣體組成及其含量；在線質(zhì)譜儀可以與化學(xué)吸附儀連用，對(duì)程序升溫過程中的逸出氣體進(jìn)行定性和定量分析。
CME-RGA6500優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)
1. 進(jìn)樣管加熱，可達(dá)350℃
2. 易操作界面，10英寸彩色觸摸屏，可全面控制儀器運(yùn)行、采樣分析、顯示譜圖
3. 可烘烤真空室至180℃
4. 可定制版本，如特殊進(jìn)氣系統(tǒng)、特殊外殼
5. 質(zhì)量范圍標(biāo)配1-200amu；可選1-100amu、、1-300amu
6. 軟電離選項(xiàng)(1-100eV)
7. 耗氣量低(1-2sccm)
8. 響應(yīng)快(駐留時(shí)間最短1ms/amu)
CME-RGA 6500典型應(yīng)用
組分分析
通過質(zhì)量數(shù)判斷進(jìn)樣氣體組分，得到真空系統(tǒng)中的工業(yè)氣體的成分和相對(duì)濃度信息，分析真空系統(tǒng)的密封性、脫附行為等，便于用戶判斷真空室及真空組件的狀態(tài)，如下圖中質(zhì)譜圖所示
過程檢測(cè)/檢漏
在設(shè)置的質(zhì)量數(shù)范圍進(jìn)行全掃描或選擇掃描，長時(shí)間對(duì)某幾類氣體進(jìn)行監(jiān)控(含報(bào)警功能)以觀察真空腔體內(nèi)氣體組分濃度隨時(shí)間的變化，如下圖中時(shí)間趨勢(shì)圖所示
CME-RGA6500技術(shù)參數(shù)
1. 運(yùn)行環(huán)境
1.1. 環(huán)境溫度：15-35℃；
1.2. 相對(duì)濕度：≤85%；
1.3. 適用電源：220V(±10%),50Hz(±2%)；
2. 小分子質(zhì)譜儀參數(shù)
2.1. 主要性能指標(biāo)
2.1.1. ★質(zhì)量范圍：1-200 amu；
2.1.2. 進(jìn)樣管：石英毛細(xì)管/不銹鋼毛細(xì)管；
2.1.3. ★毛細(xì)管溫度：≥350℃；
2.1.4. 腔體加熱溫度：≥200℃；
2.1.5. 進(jìn)樣管入口壓力：0.5-2.5atm；
2.1.6. 進(jìn)樣管長度：1m/2m；
2.1.7. 靈敏度：2.5E-4A/Pa；
2.1.8. 最小可檢測(cè)分壓：1.25E-10Pa
2.1.9. 質(zhì)量準(zhǔn)確性：±0.10 amu；
2.1.10. ▲儀器最小檢測(cè)限：≤100ppb；
2.1.11. 檢測(cè)范圍：100ppb-99%；
2.1.12. ▲駐留時(shí)間：1ms – 16s/amu；
2.1.13. ▲分辨率@10%峰值高度：0.5-2amu可調(diào)；
2.1.14. 掃描方式：全掃描、選擇離子監(jiān)測(cè)；
2.1.15. 整機(jī)尺寸（長×寬×高）：655×358×318 mm；
2.1.16. ▲重量：29.3kg；
2.1.17. 接口：以太網(wǎng)LAN×1、USB×1；
2.2. 離子源
2.2.1. 離子源類型：開放式離子源；
2.2.2. 離子源配置：雙燈絲軟件切換；
2.2.3. 燈絲電流：1000μA；
2.2.4. 離子化能量：1-100eV；
2.2.5. 燈籠電壓：1-140V；
2.3. 質(zhì)量分析器
2.3.1. ★質(zhì)量分析器：配備預(yù)四極的高精度全金屬雙曲面四極桿；
2.3.2. 四極桿尺寸：98.5*24.6*6 mm；
2.4. 檢測(cè)器
2.4.1. 法拉第杯和電子倍增器，對(duì)低濃度物質(zhì)使用法拉第杯檢測(cè)器，高濃度使用電子倍增器測(cè)定；
2.5. 真空系統(tǒng)
2.5.1. 前級(jí)泵：無油隔膜泵，抽速≥0.6 m3/h；
2.5.2. ▲配置高性能渦輪分子泵，抽速≥67L/s；
3. 軟件工作站
3.1. ★質(zhì)譜儀全中文一體化控制軟件工作站；
3.2. 實(shí)時(shí)監(jiān)控：可設(shè)置監(jiān)測(cè)離子物質(zhì)，設(shè)置監(jiān)測(cè)強(qiáng)度閾值，超過一定分壓即實(shí)時(shí)查看到超標(biāo)物質(zhì)并打開蜂鳴器；
3.3. 對(duì)質(zhì)譜圖中不同質(zhì)量數(shù)進(jìn)行元素定性功能；
3.4. 化合物定量MCD采集功能：通過加載已知組分含量的標(biāo)準(zhǔn)氣體，再新的樣品后可以得到對(duì)應(yīng)化合物濃度。
4. 售后服務(wù)
4.1. 安裝、校準(zhǔn)與試運(yùn)行:儀器制造廠技術(shù)員在買方用戶現(xiàn)場(chǎng)免費(fèi)安裝調(diào)試，技術(shù)指標(biāo)合格。
4.2. 培訓(xùn):提供技術(shù)服務(wù)，現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)內(nèi)容（包括儀器基本原理、操作使用及日常保養(yǎng)維修等），培訓(xùn)工作直至技術(shù)人員能獨(dú)立操作為止。
4.3. 質(zhì)保與維修:儀器廠商提供1年的免費(fèi)保修服務(wù)。
技術(shù)資料:提供儀器設(shè)備的安裝、操作手冊(cè)、維修保養(yǎng)手冊(cè)等技術(shù)文件，及產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書和產(chǎn)品軟件等全套資料。
