的鏡筒設(shè)計(jì),高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)、低像差無(wú)漏磁物鏡設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像,同時(shí)磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動(dòng)功能、精心設(shè)計(jì)的人機(jī)交互,優(yōu)化的操作和使用流程,無(wú)論經(jīng)驗(yàn)是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務(wù)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
01
分辨率高,低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像
02
電磁復(fù)合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,可觀察磁性樣品
03
高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應(yīng),低電壓分辨率得到保證
04
電子光路無(wú)交叉,有效的降低系統(tǒng)像差,提升分辨能力
05
水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性
06
磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌,自動(dòng)切換光闌孔,無(wú)需機(jī)械調(diào)節(jié),實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
產(chǎn)品參數(shù)
電子光學(xué)系統(tǒng) | 分辨率 | 1?nm @ 15 kV 1.6 nm @ 1 kV |
放大倍率 | 1 x~1,000,000 x | |
加速電壓 | 20 V~30 kV | |
電子槍類型 | 高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 | |
磁場(chǎng)屏蔽 | 被動(dòng)式磁屏蔽 | |
主動(dòng)式磁屏蔽(選配) | ||
成像系統(tǒng) | 探測(cè)器 | 鏡筒內(nèi)高角度電子探測(cè)器 |
側(cè)向二次電子探測(cè)器 | ||
擴(kuò)展 | 背散射電子探測(cè)器 | |
能譜儀(EDS) | ||
背散射衍射(EBSD) | ||
電子束感生電流(EBIC) | ||
陰極熒光(CL) | ||
圖像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG |