產品簡介
AluVac系列可提供200A蒸鍍電流，蒸發溫度可達600°C，能夠滿足大部分有機材料的蒸鍍，可按客戶需求定制更高蒸鍍溫度；真空腔室采用優質不銹鋼材料，采用方形結構，內部空間充足；可設置16組不同的蒸發材料，可滿足各種復雜的蒸鍍條件；搭配分子泵可達優于5*10-4Pa的真空度，適應絕大部分蒸發材料所需真空環境。
產品特點
□ 自動切換掩膜系統；
□ 自動開關腔體，自動抽真空、退真空系統；
□ 自動鍍膜工藝；
□ 完善的錯誤檢測系統
□ 優異的鍍膜均勻性；
□ 提供定制化服務。
產品應用
□ 有機分子薄膜制備；
□ 半導體薄膜制備；
□ 光學薄膜制備；
□ 金屬電極制備；
□ 典型樣品：OLED、鈣鈦礦、薄膜電池、薄膜晶體管等。
功能參數
□ 蒸發源數量：2~16組可選；
□ 蒸發電流：0~200A連續可調；
□ 蒸發電源模組：1~10組可選，功率600W,1200W,1500W可選；
□ 極限真空：優于4*10-5Pa；
□ 樣品與蒸發源距離：固定或0~70mm可調；
□ 鎢舟擋板：按蒸發源標配，2~16組；
□ 氣壓保護：進口壓力開關，正負壓可設置，有效保護真空環境；
□ 抽氣速率：常壓至5*10-2Pa≤10min；
□ 掩膜庫：4位/6位/8位可選；
□ 真空保持：停止真空系統后12小時≤2 Pa；
□ 門板控制：手動、手動自動集成可選。
規格型號
| 參數/規格 | AluVac 260 | AluVac 360 | AluVac 460 |
| 鍍膜方式 | 多源熱蒸發鍍膜 | 多源熱蒸發鍍膜 | 多源熱蒸發鍍膜 |
| 腔體結構 | 方形，前后開門，可配合手套箱安裝 | 方形，前后開門，可配合手套箱安裝 | 方形，前后開門，可配合手套箱安裝 |
| 材質用料 | 優質真空不銹鋼 | 優質真空不銹鋼 | 優質真空不銹鋼 |
| 真空腔室尺寸 | L260*W262*H351 | L360*W363*H486 | L460*W464*H635 |
| 加熱溫度 | 600℃ | 600℃ | 600℃ |
| 蒸發源數量 | 2~8可選；扇形分布，相互間擋板隔離，避免交叉污染 | 6~12可選；扇形分布，相互間擋板隔離，避免交叉污染 | 10~16可選；扇形分布，相互間擋板隔離，避免交叉污染 |
| MagicVol/切換 | PC控制 | PC控制 | PC控制 |
| 蒸發源/加熱溫度 | 室溫~600°C | 室溫~600°C | 室溫~600°C |
| 蒸發源參數 | 金屬舟：200A | 金屬舟：200A | 金屬舟：200A |
| 基片臺（樣品架） | φ161mm | φ224mm | φ287mm |
| 樣品托及掩模版 | 樣品托面積：70×70mm，可放置65×65mm樣品 | 樣品托面積：100×100mm，可放置90×90mm樣品 | 樣品托面積：140×140mm，可放置134×134mm樣品或放16片25×25mm樣品 |
| 基片臺擋板 | 程控，氣缸+磁流體驅動，傳動穩定，密封可靠 | 程控，氣缸+磁流體驅動，傳動穩定，密封可靠 | 程控，氣缸+磁流體驅動，傳動穩定，密封可靠 |
| 基片臺升降 | 固定間距或0~30mm可調 | 固定間距或0~50mm可調 | 固定間距或0~70mm可調 |
| 參數/規格 | AluVac 260 | AluVac 360 | AluVac 460 |
| 基片尺寸 | ≤30×30mm | ≤30×30mm | ≤30×30mm |
| 膜厚不均勻性 | ≤5% | ≤5% | ≤5% |
| 備用接口 | 4 | 6 | 6 |
| 門板控制 | 手動/自動/手動自動一體 | 手動/自動/手動自動一體 | 手動/自動/手動自動一體 |
| 系統控制 | PC軟件 | PC軟件 | PC軟件 |
| 蒸鍍過程控制 | 各操作環節，掩膜板更換、樣品架旋轉及定位、電源功率調節等均可在軟件界面完成 | 各操作環節，掩膜板更換、樣品架旋轉及定位、電源功率調節等均可在軟件界面完成 | 各操作環節，掩膜板更換、樣品架旋轉及定位、電源功率調節等均可在軟件界面完成 |
| 總功率 | ≥5KW | ≥8KW | ≥10KW |
| 抽氣速率 | 5.0×10-2Pa≤5min | 5.0×10-2Pa≤8min | 5.0×10-2Pa≤10min |
| 工作真空 | 優于5×10-4Pa，從大氣到工作真空時間≤30分鐘 | 優于5×10-4Pa，從大氣到工作真空時間≤30分鐘 | 優于5×10-4Pa，從大氣到工作真空時間≤30分鐘 |
| 極限真空 | 優于4.0×10-5Pa | 優于4.0×10-5Pa | 優于4.0×10-5Pa |
| 漏率 | ≤6.5×10-8Pa·L/S | ≤6.5×10-8Pa·L/S | ≤6.5×10-8Pa·L/S |
| 分子泵類別 | 油/脂潤滑、磁懸浮可選 | 油/脂潤滑、磁懸浮可選 | 油/脂潤滑、磁懸浮可選 |
| 冷卻系統 | 搭配循環水冷卻 | 搭配循環水冷卻 | 搭配循環水冷卻 |
| 掩膜庫一 | 4位 | 4位 | 4位 |
| 掩膜庫二 | 6位 | 6位 | 6位 |
| 掩膜庫三 | 8位 | 8位 | 8位 |
| 參數/規格 | AluVac 260 | AluVac 360 | AluVac 460 |
| 循環水參數 | ≤4LMP，溫度范圍-5°C~45°C，溫控精度0.1% | ≤4LMP，溫度范圍-5°C~45°C，溫控精度0.1% | ≤4LMP，溫度范圍-5°C~45°C，溫控精度0.1% |
| 真空系統 | 分子泵+機械泵PC軟件控制 | 分子泵+機械泵PC軟件控制 | 分子泵+機械泵PC軟件控制 |
| 蒸發電源 | 控制方式：恒流模式； 數量：按客戶要求； 功率：600W，1200W，1500W等可選； 精度：程控精度為量程的0.01%。 | 控制方式：恒流模式； 數量：按客戶要求； 功率：600W,1200W； 精度：程控精度為量程的0.01% | 控制方式：恒流模式； 數量：按客戶要求； 功率：600W,1200W； 精度：程控精度為量程的0.01%。 |
| 手套箱 | 單/雙工位可選，可按客戶要求預留多個數據交互接口（USB、BNC等）使用戶可無憂使用需要與外設備連接的儀器 | 單/雙工位可選，可按客戶要求預留多個數據交互接口（USB、BNC等）使用戶可無憂使用需要與外設備連接的儀器 | 單/雙工位可選，可按客戶要求預留多個數據交互接口（USB、BNC等）使用戶可無憂使用需要與外設備連接的儀器 |
| 真空保持 | 12小時≤2Pa | 12小時≤2Pa | 12小時≤2Pa |
| 參數/規格 | AluVac 260 | AluVac 360 | AluVac 460 |
| 手套箱參數 | 手套箱含水氧探頭、氣體循環和再生系統。水氧含量控制在小于1 ppm。 | 手套箱含水氧探頭、氣體循環和再生系統。水氧含量控制在小于1 ppm。 | 手套箱含水氧探頭、氣體循環和再生系統。水氧含量控制在小于1 ppm。 |
| 系統保護 | 氣壓、高壓保護控制系統全程即時報警 | 氣壓、高壓保護控制系統全程即時報警 | 氣壓、高壓保護控制系統全程即時報警 |
| 氣路控制 | 超高真空氣動電磁閥 | 超高真空氣動電磁閥 | 超高真空氣動電磁閥 |
| 電氣柜 | 與系統一體式集成化，節省空間 | 與系統一體式集成化，節省空間 | 與系統一體式集成化，節省空間 |
| 腔室測溫 | 可選高精度PT100測溫，軟件實時顯示溫度值 | 可選高精度PT100測溫，軟件實時顯示溫度值 | 可選高精度PT100測溫，軟件實時顯示溫度值 |
| 膜厚儀 | 腔室內可安裝1~8個探頭標配優質石英晶振膜厚控制儀；可選國產或進口監測控制儀 | 腔室內可安裝1~8個探頭標配優質石英晶振膜厚控制儀；可選國產或進口監測控制儀 | 腔室內可安裝1~8個探頭標配優質石英晶振膜厚控制儀；可選國產或進口監測控制儀 |
| 真空計顯示范圍 | 1.0×105Pa至1.0×10-5Pa | 1.0×105Pa至1.0×10-5Pa | 1.0×105Pa至1.0×10-5Pa |
| 機架 | 進口鋁型材組裝，整體簡潔大方 | 進口鋁型材組裝，整體簡潔大方 | 進口鋁型材組裝，整體簡潔大方 |
| 顯示屏 | 搭配工業級屏幕支架，可任意角度旋轉及隨意升降，滿足不同用戶的舒適要求 | 搭配工業級屏幕支架，可任意角度旋轉及隨意升降，滿足不同用戶的舒適要求 | 搭配工業級屏幕支架，可任意角度旋轉及隨意升降，滿足不同用戶的舒適要求 |
