 | 1、計算機程序控制照明系統(tǒng)，使工件表面照明均勻，提高了測量的高精度和可靠性。 2、多種LED冷光源系統(tǒng)：可提供四相限環(huán)形頂光源、同軸光底光源。 3、測量精度：高精度的SONY彩色CCD攝像機、光學(xué)透鏡及LED同步底光源的光路的同軸性都精確校準(zhǔn)對。 4、Z軸精度：中心驅(qū)動Z軸，自動聚焦功能，為光學(xué)影像系統(tǒng)和RENISHAW接觸式提供了精確的快速測量。 5、工作臺：采用花崗巖的機座，帶平板玻璃可移動的高剛性、表面陽極化的雙層十字特種金屬工作臺。 6、導(dǎo)軌方式：采用進(jìn)口的具有耐磨性的特種鋼制成的高精度直線導(dǎo)軌，保證了軸向直線度和垂直度。 7、驅(qū)動系統(tǒng)：采用高載荷的4V無牙精密絲杠傳動裝置（技術(shù)）和DC伺服馬達(dá)，確保了系統(tǒng)運動快捷、準(zhǔn)確。 8、Z軸：采用平衡裝置，提高了Z軸的定位精度及穩(wěn)定性。 |
| 規(guī)格 | 測量范圍（mm） | 外形尺寸（㎜） | 測量精度（ μm ） | |||||
| X | Y | Z | X | Y | Z | XY ：平面示值誤差 | Z ：單軸示值誤差 | |
| CCS322 | 300 | 200 | 200 | 800 | 500 | 1650 | E1 ≤ 2.0+L/200 E2 ≤ 2.5+L/200 | E1 ≤ 2.0+L/150 （用接觸式測頭） |
| CCSH322 | 300 | 200 | 200 | 800 | 500 | 1650 | E1 ≤ 1.5+L/250 E2 ≤ 2.0+L/200 | E1 ≤ 2.0+L/200 （用接觸式測頭） |
| CCS543 | 500 | 400 | 300 | 1040 | 1270 | 1820 | E1 ≤ 2.5+L/200 E2 ≤ 3.0+L/200 | E1 ≤ 2.0+L/150 （用接觸式測頭） |
| CCSH543 | 500 | 400 | 300 | 1040 | 1270 | 1820 | E1 ≤ 2.0+L/250 E2 ≤ 2.5+L/200 | E1 ≤ 1.5+L/200 （用接觸式測頭 |
