 | 1、X向橫梁：采用精密斜梁技術。 2、Y向導軌：采用的直接加工在工作臺上的整體下燕尾槽定位結構。 3導軌方式：采用自潔式預載荷高精度空氣軸承組成 的四面環抱式靜壓氣浮導軌。 4、三軸運動：均有氣源制動、傳動制動雙鎖死開關及微動裝置，可實現單軸的精密傳動。 5、工作方式：具有機動、手動兩種工作模式，可方便地自由切換。 6、 驅動系統：采用高載荷的4V無牙精密絲杠傳動裝置（技術）+伺服電機組成。 7、Z向主軸：采用平衡裝置，提高了Z軸的定位精度 控制系統：采用高性能機動三座標專用控制系統 8、 測量軟件：采用功能強大的3D-DMIS測量軟件包，具有完善的測量功能和聯機功能。 |
| 規 格 | NMF575 | NMF8107 | |
| 測量范圍（㎜）： | 500 × 700 × 500 | 800 × 1000 × 700 | |
| 外形尺寸（㎜）： | 1100 × 1300 × 2500 | 1400 × 2000 × 3300 | |
| 性能參數 | |||
| 長度測量系統 | RENISHAW 反射式金屬帶狀光柵尺 分辨率 1μm | ||
| 測頭系統 | 標配 | MCP | |
| 選配 | MH20i 、 MH8 ＋ TP20 | ||
| 可選測頭系統 | 光學影象測頭、激光測頭 | ||
| 測量精度指標 | |||
| 示值誤差 MPE E （ μm ） | 3.0 ﹢ 4L ／ 1000 | 3.5 ﹢ 4L ／ 1000 | |
| 探測誤差 MPE P （ μm ） | 3.5 | 4.0 | |
| 載重 | 500 Kg | 1000 Kg | |
| 整機重量 | 1500 Kg | 2400 Kg | |
