產(chǎn)品特性
?精度可對(duì)標(biāo)離線四探針機(jī)臺(tái)， 讓客戶遵循統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)定標(biāo)
?無(wú)縫對(duì)接各自動(dòng)化廠商， 數(shù)據(jù)支持各種傳輸方式如PLC/LAN/MES抓取等等
?客戶自定測(cè)試點(diǎn)位1-9點(diǎn)， 測(cè)試時(shí)間最長(zhǎng)10秒完成9點(diǎn)測(cè)試，產(chǎn)量影響降到
?相對(duì)于市面非接觸機(jī)臺(tái)， 成本降低， 精度提高， 多點(diǎn)測(cè)試速度有巨大優(yōu)勢(shì)
1%行業(yè)精度
與非接觸式渦流測(cè)量相比，四探針技術(shù)具有更高的分辨率、良好的精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和更寬的測(cè)量范圍。非接觸式渦電流測(cè)量將襯底的薄層電阻率與表面層的電阻率結(jié)合在一起測(cè)量，并導(dǎo)致不確定度。
由于探針是彈簧加載的，當(dāng)樣品上升到探針中時(shí)，探針會(huì)壓縮，從而產(chǎn)生恒定的接觸力。
數(shù)據(jù)采集可視化
美能Smart FPP軟件將數(shù)據(jù)采集和強(qiáng)大的分析功能結(jié)合在一起，擁有直觀的可視化界面，既可以用于設(shè)備本身，也可以進(jìn)行離線使用。
如圖所示，Smart FPP可以通過(guò)2D或3D形式顯示測(cè)量結(jié)果，對(duì)關(guān)鍵的薄膜均勻性數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)快速可視化展示。該軟件可以輕松地在各個(gè)測(cè)量參數(shù)分布圖和可旋轉(zhuǎn)的3D圖之間切換，以提供的自定義工藝參數(shù)視圖。
