超寬測量范圍
四點探頭能提供0.1μA至1A的電流，該系統可以測量1μΩ/至100MΩ范圍內的薄層電阻，從而能夠表征各種材料。
高精度
可以使用PC軟件進行正極性和負極性測量。這使您能夠計算正電流和負電流之間的平均薄層電阻，消除可能發生的任何電壓偏差，從而提高測量精度，動態測試重復性可達0.2%。
全自動掃描
“手動任意點測量”和“全自動多點測量”兩種測量模式。XY軸自動平臺行程兼容至230mm x 230mm，多種預設方案供選擇，也可自定義測試方案，只需提供坐標，即可一鍵測量。
易于使用
只需插入系統，安裝軟件，您就可以開始使用了！直觀的界面額簡潔的設計使四點探頭易于使用，簡化了薄層電阻的測量。可以使用各種形狀和尺寸的基板。
無損檢測
四點式探針在設計時考慮了精密樣品的測量，溫和的彈簧加載觸點和圓形。探針壓力3-5N，防止探頭刺穿脆弱的薄膜，同時仍然提供良好的電接觸。
快速材料表征
PC軟件（隨系統提供）可執行薄層電阻、電阻率和電導率的所有必要測量和計算，使材料表征變得毫不費力。它還會自動執行校正因子計算。
1%行業精度
與非接觸式渦流測量相比，四探針技術具有更高的分辨率、良好的精度、長期穩定性和更寬的測量范圍。非接觸式渦電流測量將襯底的薄層電阻率與表面層的電阻率結合在一起測量，并導致不確定度。
由于探針是彈簧加載的，當樣品上升到探針中時，探針會壓縮，從而產生恒定的接觸力。
