等離子清洗機(jī)的等離子體是一種有效的清潔方式,無(wú)需使用危險(xiǎn)溶劑。在半導(dǎo)體加工中,等離子體清洗通常被用來(lái)在焊線(xiàn)前準(zhǔn)備晶圓表面。去除污染(助焊劑)可以加強(qiáng)粘接的粘性,這有助于延長(zhǎng)設(shè)備的可靠性和壽命。在生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用中,等離子體清洗對(duì)于實(shí)現(xiàn)合成生物材料和天然組織之間的兼容性很有用。表面改性可以限度地減少不良反應(yīng),如炎癥、感染和血栓形成。
典型應(yīng)用:
● 電線(xiàn)連接表面處理
● 去除污染物(焊劑)或?qū)Ρ砻孢M(jìn)行消毒
● 促進(jìn)兩個(gè)表面之間的粘連
● 控制表面張力以達(dá)到疏水或親水的表面
● 提高生物相容性
● 通過(guò)交聯(lián)提高聚合物的性能,減少磨損設(shè)備的摩擦力
等離子清洗機(jī)適用于半導(dǎo)體封裝過(guò)程中 W/B 前、Molding 前的 L/F、Substrate、BGA 產(chǎn)品清洗;增強(qiáng)基板表面浸潤(rùn)能力,使銀漿與基板間貼合更緊密和更牢固;改善基板表面浸潤(rùn)能力,以及使基板及焊盤(pán)表面粗化。
技術(shù)特點(diǎn):
1、采用全自動(dòng)程控接口,觸摸屏人機(jī)界面,操作簡(jiǎn)單;
2、采用的腔體設(shè)計(jì),清洗均勻性好,清洗質(zhì)量高效;
3、具有500W,13.56MHZ 射頻功率輸出,并且可以通過(guò)網(wǎng)絡(luò)匹配控制器快速進(jìn)行阻抗匹配, 使反射功率降至。
4、采用腔體內(nèi)上下兩層設(shè)計(jì),每層 8 料盒,共計(jì) 16料盒(建議客戶(hù)清洗 8料盒)產(chǎn)品,結(jié)合化學(xué)反應(yīng)及物理撞擊,清洗周期短,電漿效率高,清潔效率高
5、架構(gòu)簡(jiǎn)單、占地面積小、生產(chǎn)率高等優(yōu)點(diǎn),并且保養(yǎng)維護(hù)簡(jiǎn)單且快速,系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定;
6、D/A 和 W/B 前深度清洗,使得基板和焊盤(pán)表面粗化疏水性增強(qiáng),將銀漿與基板間貼合更緊密和更牢固
產(chǎn)品參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào) | YH-DZ-PT3000 |
使用電壓 | 三相五線(xiàn)制380V 50Hz |
整機(jī)功率 | 小于5kW |
運(yùn)行環(huán)境 | 溫度15~25℃,濕度40%~60%RH |
制程參數(shù)存儲(chǔ) | 12組 |
機(jī)臺(tái)總重量 | 850KG |
壓縮空氣壓力 | 0.6MPa,10L/Min |
壓縮空氣流量 | ≤10LPM |
壓縮空氣管徑 | 外徑6mm,內(nèi)徑4mm |
排氣接頭 | NW40 |
尺寸 | |
機(jī)器尺寸(L*W*H) | 1093mm*1030mm*2020mm |
內(nèi)腔尺寸(L*W*H) | 610*450*467mm |
適用清洗產(chǎn)品 | |
封裝基板類(lèi)型 | L/F,substrate |
產(chǎn)品寬度 | ≤ 100mm 可定制 |
產(chǎn)品長(zhǎng)度 | ≤ 300mm 可定制 |
產(chǎn)品厚度 | ≤ 1mm 可定制 |
單次清洗數(shù)量 | 16*25pcS(最多) |
處理能力 | |
水滴角 | 20 ≤ avg ≤ 45° @ 產(chǎn)品寬度 |
工作范圍 | |
料盒要求 | 導(dǎo)電側(cè)面開(kāi)通風(fēng)槽 |
料盒數(shù)量 | 16PCS(最多) |
真空系統(tǒng) | |
真空泵輸出功率 | 2.5KW(真空泵) +0.75KW(羅茨泵) |
泵速 | 250m3/H ,1Pa.50Hz |
制程壓力范圍 | 80MMTORR 以下 |
真空閥氣壓檢測(cè)范圍 | 8*10 -3 -1Torr ;制程壓力 5-50mtorr |
制程氣體管接頭類(lèi)型 | Swage Lock |
制程氣體類(lèi)型 | Ar 、 95%Ar&5&H 2 ;腐蝕氣體除外 |
極規(guī)對(duì)數(shù) | 雙層,每層 4 個(gè) |
電源 | |
射頻輸出功率 | < 1000W |
射頻頻率 | 射頻13.56MHZ,功率 0-500W 可設(shè)置,功率可設(shè)置 |
電源品牌 | 進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)品牌可選 |
設(shè)備安裝參數(shù) | 機(jī)臺(tái)尺寸:1093*1030*2020mm (含三色燈) |
制程參數(shù)存儲(chǔ):12 組 | |
機(jī)臺(tái)總重:850kg | |
運(yùn)行環(huán)境:15-25℃,40%-60%RH | |
整機(jī)供電要求:AC 380V,三相五線(xiàn)良好接地 | |
壓縮空氣壓力:0.6Mpa,10L/Min | |
壓縮空氣流量:≤10LPM | |
壓縮空氣管徑:外徑 6mm,內(nèi)徑 4mm | |
排氣接頭:NW40 | |
整機(jī)功率:小于5KW |