日本HORIBA STEC SEC-400MK3 SEC-500MK3氣體質量流量控制器
產品型號 STEC SEC-400MK3 STEC SEC-500MK3 | ||||||||||||||||||||||||||||
概要 MARK3系列是在未改變質量流量控制器的品質特性的條件下實現成本降低的量產產品。材質和泄漏規格則與一般型號產品的SEC-400、SEC-500系列一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據重點關注于重復性以及限定氣體的種類、流量進行生產、實現了成本降低。適合于定流量、長時間的穩定控制重復控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。 特征
規格
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