這是一款智能型大口徑高真空退火爐。該設備主要分為三大部分：大口徑加熱爐、分體式高真空機組、真空冷井。
1、大口徑加熱爐：
加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配K型熱電偶，三個加熱溫區分別進行單點控溫；設備升降溫控制靈活、恒溫區長，控溫準確。
2、真空冷井
真空隔層冷井，易拆、易清理可接低溫冷凝水對氣體進行冷卻處理
3、高真空機組
集成結構高真空機組，配進口前級泵和分子泵，真空度高。帶1路質量流量計可做氮氣破空。
| 溫度 | 1100℃ |
| 持續工作溫度 | ≤1000℃ |
| 升溫速率 | ≤10℃/min |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 熱電偶 | K型 |
| 控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調節，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
| 加熱總功率 | ≤15KW |
| 加熱區尺寸 | 300+300+300mm |
| 設備尺寸 | 1800*1100*1400mm（設備主體） 800*800*1500mm（高真空機組） |
| 設備重量 | 約500KG |
