（1）該款設備是小型浮動催化 CVD 系統，配備真空系統，可以低壓條件下進行實驗；設備配有雙向推拉注射泵、氧分析儀、防爆控制柜、收集罐、密封腔室等組件。
（2）加熱爐為三溫區立式爐，上端法蘭配有導液桿（可上下調節）和 1 個進氣口；下端法蘭配有安全保護泄壓裝置，底部配有收集罐，收集罐放置于小車上便于移動，真空系統方面由一個電阻規和一臺 BSV30機械泵組成；尾部配有不銹鋼過濾裝置；加熱爐爐體為密封結構，同時備有可通循環氣體的進出口。
（3）防爆控制柜配有 15 寸觸摸屏及按鈕操作組件，下方配有氧分析儀、觸摸防爆鼠標以及氣路手閥組件；柜體左側配有可切換鼓泡裝置的組件；最頂部箱體配有雙向推拉注射泵，供液體連續工作。
| 電壓 | 380V |
| 功率 | 13.5KW |
| 加熱區長度 | 250mm*250mm*250mm |
| 工作溫度 | ≤1500℃ |
| 推薦升溫速率 | 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min，1600℃以下≤2℃/min |
| 熱電偶 | B型熱電偶 |
| 控溫方式 | 模糊PID控制和自動整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
| 加熱元件 | 硅鉬棒 12根（每個溫區上下各4根） |
| 加熱爐尺寸 | 1225*1220*2350mm（長x寬x高） |
| 控制柜尺寸 | 1110*1020*2710mm（長x寬x高） |
| 設備總重 | 約780Kg |
