更具靈活性及細節的聲學檢測

功能和優勢

● 采用Sonolytics 2™ ——簡單、直觀的操作界面——時間發現缺陷

● 一次掃描可性采集多達100幅圖像，有效節省時間

● 采用Windows 10操作系統并與現有網絡兼容

● 易進入掃描區，簡化加載和卸載過程

● 可選功能包括水循環、水加熱、非浸水瀑布式™換能器和數字圖像分析

D9650™延續了上一代產品的良好精度和穩定性，新增改良版電子軟件平臺融合了PolyGate™技術和Sonolytics™技術。D9650適用于故障分析、工藝開發、材料特性描述及低容量生產環境。

無論是故障分析、工藝開發、材料特性表達、小批量生產還是其他實驗室檢測，D9650均可提供豐富的功能。D9650可在反射和/或透射模式下工作。

D9650不斷擁有的SONOSCAN創新技術，兼而采用人性化設計。通過采用符合人體工程學的設計，提供舒適方便的使用體驗。通過的應用程序Sonolytics 2™軟件和直觀的操作界面菜單增進效益，同時節省操作時間。

D9650是新一代C-SAM超聲波掃描顯微鏡，可提供一系列技術、符合人體工程學的設計和SONOSCAN開發的功能。

D9650產品規格

規格

采用PolyGate™同時捕獲100個深度(門棧)，同時提供獨立增益、彩色映射和波形分析。

時域成像TDI™包括：

· A掃描，顯示換能器信號

· B掃描，提供橫截面圖像

· C掃描，提供二維平面圖像

· 批量掃描，顯示材料內部缺陷

· 多重掃描，同時采集不同層級的圖像

· 表面掃描，顯示表面缺陷

· 界面掃描，突顯材料間變化

· 回波丟失(LoBE)，形成上述缺陷的陰影

· SONOSCAN的Q-BAM™，提供樣品的聚焦橫截面圖

· 3D-TOF，使用基于時間的分析創建深度或厚度圖像

· 可選THRU-Scan™顯示材料連續性和脫層或空洞

· 可選同時THRU-scan和反射STaR，通過同時采集THRU-Scan和所有時域圖像以節省時間

波形分析模式

· 振幅測量峰間信號和極性

· 集成模式™可以突出衰減的信號

· 剖面分析從前表面到目標界面的距離

· 時差計算兩個界面之間的距離

· ASF™（聲學表面平整度）測量表面的翹曲變形。 US 8,794,072 B2

· 通過聲學阻抗極性檢測器提供極性（如相位）和振幅信息 US 4,866,986

高級觸發工具

· 正、負和±交叉

· 自動前界面回聲(FIE)模式，通過自動捕捉個反射界面節省時間

· 采用動態觸發模式補償內部厚度變化

· 主沖擊信號模式使高級用戶可以利用高級觸發模式功能來查看整個A掃描信號。門限觸發模式用于應對更具挑戰性的應用

AutoScan可以通過預先編程的位置、焦點、掃描尺寸和分析指令自動檢測和分析托盤上各部分組件的排列。

通過采用Multi-Focus-PolyGate快速發現合適的設置，提供一系列圖像以備選擇。

系統

機械

掃描區域：314 mm x 314 mm

X-Y軸精確度：0.5微米

馬達：X軸高速線性；Y軸步進器；Z軸步進器

電氣性能

脈沖發生器/接收器：優化用于換能器；5MHz-230MHz；95 dB增益0.5 dB步進

數字轉換器：1 8位LSNB1時，1 GSPS

數字門限：1 ns至10,000 ns

操作系統：Windows 10 Sonolytics 2™

系統設備要求

通用電壓：90V交流至250V交流50/60Hz；單相15安電路120V交流

尺寸：寬度：1892 mm；深度：737 mm；高度1588 mm

重量：最小420千克，500千克

給排水：注水：?"內徑軟管；填壓：150千帕±50千帕；排水：?"內徑軟管；排水臺：?"內徑軟管

可選功能和設備

· 水管理模塊可提供自動填充注水、排水、再循環、過濾和溢流保護功能

· 瀑布式換能器提供非浸泡掃描

· 熱水模塊用于降低水的衰減頻率

· 數字圖像分析(DIA)包括區域部分分析（包括Mil-Std-883、Method 2030）、圖像優化、直方圖、FFT、多區域分析和厚度計算，用于量化聲學數據

· VRM™（虛擬重新掃描模塊）儲存99% A掃描數據，能夠對不可用的部件做進一步分析

· 通用晶圓夾具

· AIMM™（聲學阻抗測量模塊）用于測量材料的聲學阻抗

· 厚度測量模塊

· 光頻譜分析模塊

· HRU-Scan掃描臂

· 反射和投射同時成像