“如果您的測試PAD大于30μm,M系列則是您在實驗室中的優選設備之一”
產品亮點
- UPStart模塊化設計
- 可根據測試需求配置相應模塊,多種配置可選
- 封閉式移動平臺,防塵,防誤操作,耐用時間長,定位更精準
- POMater自適應隔震底座
- 采用德國進口隔震材料,提高測試穩定性
產品參數
型號 | M4 | M6 mini | M6 | |
外形(長*寬*高) | 650*490*620mm | 650*490*620mm | 650*490*620mm | |
重量(KG) | 約45kg | 約47kg | 約52kg | |
電力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
卡盤 常溫標準 | 卡盤尺寸 | 4" | 6" | 6" |
樣品固定方式 | 環形及多孔真空吸附(可定制) | |||
背電極測試功能 | 有/樣品臺電學獨立懸空 | |||
卡盤材質 | 316#不銹鋼(可選黃銅鍍鎳or鍍金) | |||
卡盤 移動平臺 | X-Y行程 | 100*100mm | 100*100mm | 150*150mm |
移動精度 | 10μm | |||
Theta行程 | 360°旋轉(粗調);可旋轉微調,微調精度0.002° | |||
卡盤升降 | N/A | |||
卡盤快速拉出 | N/A | |||
控制方式 | 小型旋鈕驅動 | |||
針座平臺 | 平臺尺寸 | 長540mm*寬310mm | ||
卡盤到平臺距離 | 8mm(卡盤上表面與針座平臺下表面) | |||
針座數量 | 最多可放置6針座(DC×6/RF×4,DC×2) | |||
針座平臺升降 | N/A | |||
針座定位方式 | 磁力吸附或真空吸附 | |||
光學特性 | 顯微鏡規格 | 標配體視顯微鏡(可選配視頻顯微鏡) | ||
放大倍數 | 16~100X | |||
CCD像素 | 3種CCD可選:200W(數字)/500W(數字)/650W(數字) | |||
顯微鏡控制行程 | 顯微鏡調焦架控制可360度旋轉,Z軸:50.8mm | |||
顯微鏡移動精度 | N/A | |||
鏡頭切換方式 | N/A | |||
點針規格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | ||
機械精度 | 10μm/2μm/0.7μm | |||
漏電精度 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱時) | |||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口 |
(*規格和設計如有更改,恕不另行通知。)