MFLPECVD408-12是一款PECVD系統的管式爐系統。由真空管式爐、射頻電源、供氣系統、真空系統組成。 溫度可以達到1200度，采用30段程序溫控儀表，K型熱電偶，爐膛為高純氧化鋁陶瓷纖維,此設備可用于生長納米線或用CVD方法制備各種薄膜。
【產品型號】MFLPECVD408-12
【石英管徑】50/60/80/100/120/150mm
【額定溫度】1200℃/1400℃/1700℃
【電源電壓】AC220V/50Hz
【控溫精度】±1℃
一、產品描述
MFLPECVD408-12是一款PECVD系統的管式爐系統。由真空管式爐、射頻電源、供氣系統、真空系統組成。 溫度可以達到1200度，采用30段程序溫控儀表，K型熱電偶，爐膛為高純氧化鋁陶瓷纖維,此設備可用于生長納米線或用CVD方法制備各種薄膜。
二、產品特點
1、通過射頻電源把石英真空室內的氣體變為離子態。
2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積所需的溫度更低
3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應力大小
4、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩定性高。
5、廣泛應用于：各種薄膜的生長，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。
二、技術參數
設備型號 | MFLPECVD408-12 | |
管式爐 | 控溫范圍 | 室溫-1200℃ |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 加熱區長度 | 400mm | |
| 石英管 | 直徑 80mm，長 1400mm (管徑可選 50， 60 ，100) | |
控溫精度 | ＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃ | |
恒溫波動 | ±1℃（測試點為1000℃） | |
升溫速度 | 推薦1000度以下≤10℃/min，升溫速度≤30℃/min | |
降溫速度 | 700℃以上≤10℃/min | |
爐表溫度 | 爐體表面溫度小于室溫+10（測量點為1000℃） | |
| 測溫元件 | K型熱電偶 | |
| 控溫模式 | 模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 | |
| 電壓功率 | 220V 3KW | |
供氣系統
| 氣路通道 | 4路 |
| 氣路流量控制 | 質子流量控制器（七星流量計） | |
| 控制精度 | ±1.5%F.S | |
| 重復精度 | ±0.2%F.S | |
| 流量范圍 | 1-500 SCCM | |
| 機械壓力表 | 一塊機械壓力表在面板，和混氣灌連接量程：-0.1～0.15 Mpa | |
真空系統 方案一（低真空：機械泵）
| 電源 | 220V |
| 極限真空度 | 5X10-1 Pa | |
| 抽氣速率 | 2升/每秒 | |
| 真空擋板閥 | KF25 | |
| 型號 | VRD-8 | |
| 電機功率 | 0.4KW | |
真空系統 方案二（高真空：機械泵+分子泵機組）
| 型號 | GZK-16-600 |
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | |
| 功率 | 1KW | |
| 重量 | 25KG | |
| 極限壓強 | 1.0*10-4Pa | |
| 進、排氣接口 | KF40 | |
| 冷水機流量 | 10L/MIN | |
| 真空計 | 復合真空計 | |
| 真空控制精度 | ± 1% | |
| 真空計測量范圍 | 1.0x10 - 1.0x10-5pa | |
電源 （等離子體發生器）
| 功率輸出范圍 | 0-500W |
| 功率穩定度 | ≤±5W | |
| 工作頻率 | 射頻：13.56MHZ±0.005% | |
| 匹配方式 | 自動 | |
| 冷卻方式 | 風冷 | |
| 噪聲 | <> | |
安全 | 工作環境 | RT±5-40℃ |
使用保障 | 開門斷電 超溫報警 漏電保護 過溫保護 | |
管式爐 | 一臺 | |
出廠清單 | 真空系統 | 一套 |
供氣系統 | 一套 | |
射頻電源 | 一套 | |
高溫手套 | 卡斯頓一雙 | |
爐勾 | 一把 | |
氣管 | 一根 | |
設備說明書 | 一份 | |
儀表說明書 | 一份 | |
保修卡 | 一份 | |
選購品 | 移動爐架 | 不銹鋼 |
觸摸屏智能儀表 | 50段編程，可實現與計算機連接。通過專用的計算機控制系統來完成與單臺或多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。 | |
注：管徑可選：50/60/80/100/120/150/200/300 mm ,
溫區可以做雙溫區，三溫區等多溫區，
請聯系客服
設備型號 | MFLPECVD408-12 | |
管式爐 | 控溫范圍 | 室溫-1200℃ |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 加熱區長度 | 400mm | |
| 石英管 | 直徑 80mm，長 1400mm (管徑可選 50， 60 ，100) | |
控溫精度 | ＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃ | |
恒溫波動 | ±1℃（測試點為1000℃） | |
升溫速度 | 推薦1000度以下≤10℃/min，升溫速度≤30℃/min | |
降溫速度 | 700℃以上≤10℃/min | |
爐表溫度 | 爐體表面溫度小于室溫+10（測量點為1000℃） | |
| 測溫元件 | K型熱電偶 | |
| 控溫模式 | 模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 | |
| 電壓功率 | 220V 3KW | |
供氣系統
| 氣路通道 | 4路 |
| 氣路流量控制 | 質子流量控制器（七星流量計） | |
| 控制精度 | ±1.5%F.S | |
| 重復精度 | ±0.2%F.S | |
| 流量范圍 | 1-500 SCCM | |
| 機械壓力表 | 一塊機械壓力表在面板，和混氣灌連接量程：-0.1～0.15 Mpa | |
真空系統 方案一（低真空：機械泵）
| 電源 | 220V |
| 極限真空度 | 5X10-1 Pa | |
| 抽氣速率 | 2升/每秒 | |
| 真空擋板閥 | KF25 | |
| 型號 | VRD-8 | |
| 電機功率 | 0.4KW | |
真空系統 方案二（高真空：機械泵+分子泵機組）
| 型號 | GZK-16-600 |
| 電源 | AC100-240 50/60HZ | |
| 功率 | 1KW | |
| 重量 | 25KG | |
| 極限壓強 | 1.0*10-4Pa | |
| 進、排氣接口 | KF40 | |
| 冷水機流量 | 10L/MIN | |
| 真空計 | 復合真空計 | |
| 真空控制精度 | ± 1% | |
| 真空計測量范圍 | 1.0x10 - 1.0x10-5pa | |
電源 （等離子體發生器）
| 功率輸出范圍 | 0-500W |
| 功率穩定度 | ≤±5W | |
| 工作頻率 | 射頻：13.56MHZ±0.005% | |
| 匹配方式 | 自動 | |
| 冷卻方式 | 風冷 | |
| 噪聲 | <50dB | |
安全 | 工作環境 | RT±5-40℃ |
使用保障 | 開門斷電 超溫報警 漏電保護 過溫保護 | |
管式爐 | 一臺 | |
出廠清單 | 真空系統 | 一套 |
供氣系統 | 一套 | |
射頻電源 | 一套 | |
高溫手套 | 卡斯頓一雙 | |
爐勾 | 一把 | |
氣管 | 一根 | |
設備說明書 | 一份 | |
儀表說明書 | 一份 | |
保修卡 | 一份 | |
選購品 | 移動爐架 | 不銹鋼 |
觸摸屏智能儀表 | 50段編程，可實現與計算機連接。通過專用的計算機控制系統來完成與單臺或多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。 | |
注：管徑可選：50/60/80/100/120/150/200/300 mm ,
溫區可以做雙溫區，三溫區等多溫區，
請聯系客服
標配清單：
| 出廠清單 | 管式爐 | 一臺 |
| 真空系統 | 一套 | |
| 供氣系統 | 一套 | |
| 射頻電源 | 一套 | |
| 高溫手套 | 卡斯頓一雙 | |
| 爐勾 | 一把 | |
| 氣管 | 一根 | |
| 設備說明書 | 一份 | |
| 儀表說明書 | 一份 | |
| 保修卡 | 一份 |
可選配：
移動爐架 | 整體不銹鋼 |
7英寸觸摸屏儀表 | 50段編程， 大屏幕無紙記錄儀，實現對升溫曲線的實時記錄，并帶有存儲卡可對實驗數據進行分析和打印
|
一、售后服務
：一年保修，終身技術支持。（特別提示，耗材部分如加熱元件、樣品坩堝等不在保修范圍內因使用腐蝕性氣體造成的損害不在保修范圍內）
二、注意事項
1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa
3.當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當
4.對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開排氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
