產品特色
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數可控：質量流量、體積流量和壓力
● 可選高精度：可優于0.5 %
● 可測范圍廣，0.01~99%滿量程
● 滿量程超低壓損為360 Pa
● 閥門響應時間快，優于100 ms
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
精度升級
量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程（取值）
質量流量高精度 ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取值）
重復性 ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差
± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差
質量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數 / ℃溫差
± 0.1 % 讀數 / Atm壓力差
技術指標
介質要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質種類 內置了98種氣體，請參考氣體兼容表
一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
測量和控制范圍 0.01～99%
顯示流量 128 %滿量程
可控流量 102.4 % 滿量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開關，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ±（0.8 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）見上段精度升級部分
±（0.4 % 讀數 + 0.2 % 滿量程）（可選）
累計流量精度 流量精度之外增加±0.5%額外誤差
重 復 性 ±（0.2 %讀數+0.02 %滿量程）
質量流量溫度漂移 0.03%滿量程當溫度從25 ℃起每變化1 ℃
質量流量壓力漂移 ±（0.08 % 讀數 + 0.02 % 滿量程）當壓力從標定壓力起，每變化1bar
響應時間 優于100 ms
預熱時間 ＜ 1 s
標定工況 25 ℃ & 1Atm（可現場在測量范圍內隨意更改）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫至100℃）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝
工作壓力 0.3 MPa表壓，進出口允許瞬時壓差70 Kpa
操作壓力 如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定
壓力精度 ± 0.5 %讀數（讀數＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數據刷新頻率 數字信號40 Hz@19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、 EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232 / RS485）
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 7 - 30 VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC ）
供電電流 250 mA，1 A，2 A（詳情咨詢）；額外加 40 mA（ 4 - 20 mA）
電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、 鋁
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）
*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢
