型號描述

型號 8711 是一臺用于調節氣體質量流量的裝置，適合工藝技術領域內大多數的用途。在數字的電子調節設備中，會將以硅芯片為基礎的傳感器（參見第 2 頁的描述）提供的數值，與規定的額定值進行比較；存在調節偏差時，會通過一種 PI 調節算法對發送到比例閥上的調節參數進行修改，由此補償調節偏差。因為傳感器直接處于氣流中，所以測量反應時間非常短。質量流量可以保持在一個確定的數值上，或遵循規定的額定值曲線輪廓，而不會受到壓力波動或設備中其他變化的影響。可針對兩種不同的氣體對型號 8711 進行校準，用戶可在兩者之間進行轉換。一個直動式比例閥作為調節元件，確保了高反應靈敏度和裝置良好的調節特性。典型的用途是，在以下領域中進行氣體計量或配制混合氣體：試驗臺、生物反應堆、熱處理、材料涂層、燃燒器控制以及燃料電池技術。

1）采用 MEMS 技術的直接流量測量裝置，適合額定流量范圍 10 mlN/min 至 80 lN/min (N2)

2）高精度和高重復精度

3）調整時間短

4）可選的現場總線

Type Description

The mass flow controller (MFC) Type 8711 is suited for regulating the mass flow of gases over a big flow range. The thermal MEMS sensor is located directly in the gas stream and therefore reaches very fast response times. A direct-acting proportional valve from Bürkert guarantees a high sensitivity. The integrated PI controller ensures outstanding control characteristics of the MFC. Type 8711 can optionally be calibrated for two different gases; the user can switch between these two gases. As electrical interfaces both, analog standard signals and fieldbuses are available. The mass flow controller type 8711 fits for various applications, like e.g. burner controls, heat treatment, material coatings, bio reactors, fuel cell technology or test benches.

1）Nominal flow ranges from 0.010 lN/min to 80 lN/min
2）High accuracy and repeatability
3）Very fast settling times
4）Optional: Fieldbus interface

氣體質量流量控制器部分訂貨號如下：

667699 KOMP-005-8711-F667-699-00-667699