特殊的腔體設計和工藝設計，可以使得ALD技術應用于工業量產，并且可以提高鍍膜效率。矽碁可根據用戶的需求定制設備。
技術參數：
1 不銹鋼腔體，雙層加熱設計；
2 等離子體增強模塊集成于腔體上蓋；
3 進口高速ALD隔膜閥；
4 基片尺寸可以定制；
5 基片加熱400℃；
6 最多可提供6路前驅物和6路工藝氣體；
7 氣路全金屬密封，并可加熱至120℃；
8 可提供前驅體鋼瓶加熱或冷卻；
9 可全自動控制工藝過程，同時也可以手動操作。
10 量產型設計，可以全自動化
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特殊的腔體設計和工藝設計，可以使得ALD技術應用于工業量產，并且可以提高鍍膜效率。矽碁可根據用戶的需求定制設備。
技術參數：
1 不銹鋼腔體，雙層加熱設計；
2 等離子體增強模塊集成于腔體上蓋；
3 進口高速ALD隔膜閥；
4 基片尺寸可以定制；
5 基片加熱400℃；
6 最多可提供6路前驅物和6路工藝氣體；
7 氣路全金屬密封，并可加熱至120℃；
8 可提供前驅體鋼瓶加熱或冷卻；
9 可全自動控制工藝過程，同時也可以手動操作。
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| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
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