? M3030V(2022)氣體質(zhì)量流量控制器,是M3030V(2003)氣體質(zhì)量流量控制器的升級型號,它縮小了PCB的尺寸,更換新的傳感器(SENSOR).提升了穩(wěn)定性.
M3030氣體質(zhì)量流量控制器，是韓國LineTech于2003年研發(fā)出來的一款模擬式（電子信號控制方式為Analog Type）氣體質(zhì)量流量控制器。是一個可以手動設定或與電腦連接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置，能在較寬的量程范圍內(nèi)快速而精確地控制氣體流量。即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有輕微的變化，也不會影響其正常的工作。原則上不需要溫度和壓力補償。
M3030系列模擬式氣體質(zhì)量流量控制器可以將氣體流量測量值以輸出標準電信號（輸入輸出信號為 0-5V 或 4-20mA）輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示、累計流量自動計量、數(shù)據(jù)自動記錄、電腦管理等，還可以實現(xiàn)流量的自動控制。所以，我們根據(jù)輸入輸出信號的不同，把它劃分為M3030V和M3030A兩個規(guī)格。
M3030系列有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到9MP；以使用多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如、三氯化硼、、氟化氫等等）；有很寬的流量范圍，產(chǎn)品Min流量范圍可達 0~10sccm ，Max流量范圍可達 0~30slpm 。流量控制范圍3~99%F.S（滿量程）
| 原產(chǎn)地： | 韓國 （） |
商品名稱：氣體質(zhì)量流量控制器 型號：M3030V 模擬氣體質(zhì)量流量控制器 量程范圍（N2）：0.01~30slpm Min流量：0.3-10 sccm Max流量：0.9-30 slpm SCCM單位：標準毫升/分鐘 SLPM單位：標準升/分鐘 精確度：±1% of FS 重復性：±0.25% 輸入輸出信號：0-5Vdc 供電：+15~+24Vdc，350mA 工作壓力：＜90Bar 工作溫度范圍：0~50℃ 漏率：1×10-9atm.cc/sec 控制量程:3~99% 通訊：無 |
|
| 產(chǎn)品特點： | 尺 寸 圖 |
? 高精度質(zhì)量流量測量 ? 可靠的質(zhì)量流量輸送 ? 精度高±1%FS ? 響應時間＜2秒 ? 一致的可重復性0.25% ? 緊湊型流量控制系統(tǒng) ? 相對不受來流溫度和壓力波動的影響 |
|
提供常見選型參數(shù)：
| 型 號 | 電壓信號 | 電流信號 | 氣體類型 | 流量范圍 | 供 電 | 工作壓力 | 密封材質(zhì) |
| M3030 | V | A | 0~10 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | |
| V | A | 0~20 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~30 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~50 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~100 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~200 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~300 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~500 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~1000 sccm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~2 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~3 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~5 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~10 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~15 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~20 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 | ||
| V | A | 0~30 slpm | +15~24Vdc可選 | ＜90Bar壓差＞0.5Bar | 廠家選配 |
